ウェハ製造

ウェハ製造は、半導体デバイスの品質を左右する重要な工程です。ウェハには、純度や欠陥はもちろんのこと、厚さの均一性、表面の平坦性や薄片化が求められます。
シリコンウェハを中心にウェハの分析例をご紹介します。