FTIRによる結晶シリコン中の酸素、炭素およびSiN膜中の水素の定量

はじめに

世界のシリコンウェハ生産量は，従来からの半導体用にあわせて，2000 年以降太陽電池用需要の増加も加わり，着実な伸びを示しています。いずれの用途にしろ，シリコンウェハの品質を保証する上では各種不純物の管理が必要となります。赤外分光法を用いると結晶シリコン中の格子間酸素や置換型炭素が比較的簡単に定量できることが知られています。また絶縁膜や反射防止膜の用途で結晶シリコンの表面に成膜されるSiN 膜についても，膜中に含まれる水素量を赤外分光法で定量することができます。ここではIRsolution のマクロプログラムを用いたこれら試料の測定例をご紹介します。

2021.03.30