EDX-7000/8000/8100

比類なき分析性能

高性能SDD検出器を搭載し,さらにハードウェアを最適化することにより,これまでに無い高感度・高速分析と高エネルギー分解能を実現しました。6C~の検出が可能なモデルもラインアップしています(EDX-8000/8100)。

高感度 − 検出下限 1.5~5倍向上 −

高性能SDD検出器と,最適化された光学系や一次フィルタの組合せにより,これまでにない高感度分析を実現しました。
軽元素から重元素まですべての範囲にわたって,従来のSi(Li)半導体検出器を搭載した装置よりも高感度です。

左:軽元素マトリクスにおける検出下限の比較/右:銅合金中の鉛(Pb)のプロファイル比較

高速 − スループット最大約10倍 −

SDD検出器は単位時間あたりにカウントできる蛍光X線の数が多いため(高計数率),より短い測定時間で高精度の分析が可能です。
特に,金属など主成分元素から蛍光X線が多く発生する試料の分析においてはその特長が最大限に発揮されます。

測定時間と標準偏差(定量値のばらつき)の関係

測定時間と標準偏差(定量値のばらつき)の関係

実試料による比較

試料外観

鉛フリーはんだに含まれる鉛(Pb)について,従来型機種とEDX-7000/8000/8100で繰り返し再現性を比較しました。

目的の分析精度に達するのに必要な測定時間

目的の分析精度に達するのに必要な測定時間

蛍光X線分析では,測定時間を長くして蛍光X線のカウント数を増やすことで精度(繰り返し再現性)を向上させることができます。
高計数率のSDD検出器を搭載したEDX-7000/8000/8100では,従来型の装置に比べより短い測定時間で目的の分析精度を得ることができます。

高分解能

エネルギー分解能の比較(試料:PPS樹脂)

エネルギー分解能の比較(試料:PPS樹脂)

Si(Li)半導体検出器を搭載した従来型の装置と比べ,エネルギー分解能がすぐれています。
異なる元素によるピーク重なりの影響が低減され分析結果の信頼性が向上します。

液体窒素不要

SDD検出器は電子冷却方式のため,液体窒素による冷却は不要です。わずらわしい液体窒素の補充作業から解放されると共に,ランニングコストの低減にも貢献します。

検出元素範囲

検出元素範囲
  • EDX-7000/8100で15P以下の軽元素の分析をおこなうには,真空測定ユニットまたはヘリウム置換測定ユニット(いずれもオプション)が必要です。
  • EDX-8000で15P以下の軽元素の分析をおこなうには,真空測定ユニット(オプション)が必要です。
  • 検出下限は試料マトリクスや共存元素により異なります。
    20Ca以下の軽元素で試料容器を用いた分析ではフィルムの吸収により検出下限目安よりも悪くなります。
    8O以下の軽元素で試料容器を用いた分析ではフィルムの吸収により分析ができません。
EDX-8000によるフッ素のプロファイル

EDX-8000/8100によるフッ素のプロファイル

EDX-8000/8100による超軽元素の分析

EDX-8000/8100は窓材に極薄膜の特殊素材を使用したSDD検出器を搭載しており,炭素(C),酸素(O),フッ素(F)といった超軽元素の検出が可能です。

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