SPM-8100FM FM方式 AFMの原理

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

FM方式 AFMの原理

ダイナミックモードで振動しているカンチレバーの周波数を計測して試料との相互作用を検出します。具体的には,カンチレバーの周波数シフト(Δ f )が一定になるように,カンチレバーを非接触状態で動作させます。従来よりも20倍以上高感度な力検出が可能となり,像の分解能が向上します。

FM方式 AFMの原理

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