EDX-7000/8000/8100

卓越した汎用性

微小試料から大型試料,粉末試料や液体試料まで,あらゆる試料に柔軟に対応します。
軽元素の高感度分析に有効な真空測定ユニットやヘリウム置換測定ユニット,自動連続測定を可能にする12試料ターレットもラインアップしています(オプション)。

4種コリメータおよび試料観察カメラ

左:1mmΦコリメータ選択時/右:5mmΦコリメータ選択時 微量用試料容器使用

1,3,5,10mmΦの4段階を自動切換え
試料サイズに応じて照射径を4段階で切り替えることが可能です。
微小異物分析や不良解析は1mmΦ,少量試料には3mmΦや5mmΦと,試料形状に合わせて最適な照射径をお選びいただけます。


試料観察カメラも標準搭載
試料観察カメラにより,X線照射位置の確認がおこなえます。
微小試料を測定する場合や,複数の部位からなる試料の特定箇所にX線を照射したい場合,あるいは微量用試料容器を使用する場合などに有効です。

5種類の一次フィルタを自動交換

一次フィルタを用いてX線管からの特性X線や連続X線を低減させることにより検出感度が向上します。微量元素の分析をおこなう際に有効です。
EDX-7000/8000/8100は5種(OPEN含め6種)の一次フィルタを標準で搭載しており,ソフトウェアから自動交換が可能です。

フィルタ 有効なエネルギー(keV) 対象元素例
#1  15~24  Zr, Mo, Ru, Rh, Cd
#2  2~5  Cl, Cr
#3  5~7  Cr
#4  5~13  Hg, Pb, Br
#5  21~24(5~13)*  Cd (Hg, Pb, Br)

   * フィルタを使うと,( ) のエネルギー範囲のバックグラウンドも低減します。

一次フィルタの効果

一次フィルタの効果

コリメータと一次フィルタの組合せは自由自在

コリメータと一次フィルタはそれぞれ独立して駆動しますので,組合せに制約はありません。6種×4種=24通りから最適な組合せをお選びいただけます。
また,すべての組合せにおいてFP法による定量分析が可能です。

真空測定ユニット(オプション)

軽元素から発生する蛍光X線は大気雰囲気下では吸収を受けやすいため,真空雰囲気にすることで軽元素の高感度化が図れます。

真空雰囲気を100とした場合のヘリウム置換と大気雰囲気の相対感度

真空雰囲気を100とした場合のヘリウム置換と
大気雰囲気の相対感度

真空雰囲気と大気雰囲気のプロファイル比較 (試料:ソーダ石灰ガラス)

真空雰囲気と大気雰囲気のプロファイル比較
(試料:ソーダ石灰ガラス)

ヘリウム置換測定ユニット(オプション)

液体やガスを発生するなど,真空雰囲気にできない試料に含まれる軽元素の分析には,ヘリウム置換が有効です。
高効率でヘリウムガス置換をおこなう独自システムを採用し(日本国特許 第5962855号),感度を悪化させることなく,パージ時間とヘリウムガス消費量共に従来比で約4割削減しました。
(EDX-7000/8100用オプション)

ヘリウム置換と大気雰囲気のプロファイル比較
(EDX-7000/オイル中の硫黄)

 

ヘリウム置換と大気雰囲気のプロファイル比較
(EDX-8100/フッ素コーティング剤のフッ素)

 

12試料ターレット(オプション)

12試料ターレット(オプション)

ターレットを追加することにより,自動連続測定が可能になります。特に,真空・ヘリウム雰囲気で測定する場合のスループット向上に効果的です。

Top of This Page