KRATOS ULTRA2 （英国名AXIS Supra+）

イメージングX線光電子分析装置

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イメージングX線光電子分析装置

KRATOS ULTRA2

KRATOS ULTRA2（英国名：AXIS Supra+）は、化学状態分析に最適化したX線光電子分析※装置です。

※ X線光電子分光法：X線光電子分光法（X-ray Photoelectron Spectroscopy: XPS）は、ESCA（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）とも呼ばれ、物質表面の特性評価に広く利用される分析手法です。通常は励起源に単色化したAl Kα線を使用し、物質最表層10 nm の定量的化学情報を得ることが可能です。この手法は、産業界と学術研究分野の双方において、広い応用分野での表面特性評価に利用されています。

高い基本性能

業界をリードするスペクトロスコピーおよびイメージング機能にオートメーションを融合し、サンプルスループットとユーザビリティが向上しました。他に類を見ないラージエリア分析性能に加え、高速で高空間分解能なXPSイメージングによる化学状態の分布情報や微小部分析による詳細な特性評価が可能です。

スペクトロスコピー

  • 高感度&高エネルギー分解能ラージエリア分析性能
  • スモールエリア分析機能

光電子イメージング

高速&高空間分解能

ESCApe ソフトウェア

測定とデータプロセッシングを統合したソフトウェアにより、装置の性能を最大限引き出します。シンプルでユーザーフレンドリーなインターフェースは、初心者でも簡単に操作できます。

完全なオートメーション

試料ハンドリングと装置セッティングの完全コンピューター制御によるフルオートメーションを実現しました。試料ホルダーの自動導入と自動交換のみならず、角度分解測定からスパッタデプスプロファイリングまでを、長時間多試料無人測定のルーチンに組み込むことが可能です。

フルリモートコントロールに対応

装置制御からデータ処理に至るすべての操作がリモートコントロールに対応します。ネットワーク経由で装置を遠隔操作することが可能であり、ラボで行う業務のほとんどを装置から離れた場所でこなすことができます。

「装置の詳細な情報はこちら（Kratos Analyticalのページ）」

特長

  • ラージエリア高感度XPS
    ラージエリア高感度XPS
    光電子捕集効率の高い電子光学系により、格段に優れたラージエリア分析性能を実現しました。ラージエリア測定時の感度とエネルギー分解能の高さは、他に類を見ません。
    通常のエネルギースキャン測定に加え...
  • 高いエネルギー分解能
    高いエネルギー分解能
    XPS装置に求められる重要で基本的な性能は、高いエネルギー分解能です。高いエネルギー分解能は、ごくわずかなケミカルシフトを精確に測定するために必須の条件です。
    それには、光電子ピークの幅を...
  • スモールエリア分析
    スモールエリア分析
    微小部分析性能を大きく向上する新オプション「高輝度モノクロメーターX線源」を開発しました。
    分析エリアに対するX線ビームスポット形状を最適化することにより、スモールスポットモードの...
  • 高速パラレルイメージング
    高速パラレルイメージング
    XPS イメージングを使うことで、物質表面の元素ないしは化学状態の2 次元分布を知ることが可能です。KRATOS ULTRA2はパラレルイメージング方式を採用し、短時間で空間分解能の高い光電子イメージを得ることができる装置です。
  • ESCApe ソフトウェア
    ESCApe ソフトウェア
    測定からデータ処理までを一つのソフトウェアでコントロールします。可能な限りシンプルに設計したユーザーインターフェースを採用し、ハードウェアが持つオートメーション機能の性能を最大限に引き出します。
  • 大型モノクロメーター
    大型モノクロメーター
    - マクロ分析における高エネルギー分解能測定
    - フラックス密度を抑えた照射方式
    - フルコンピューターコントロール
More
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