KRATOS ULTRA2 (英国名AXIS Supra+) - 仕様
イメージングX線光電子分析装置
主な仕様
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- エネルギーアナライザー
形式:180°静電半球型+球面鏡アナライザー
中心軌道半径:165 mm
インプットレンズ:静電レンズ及び磁場レンズ
検出器:ディレイラインディテクター(128 ch)
分析径: Slot(700x300 um)、110 um、55 um、27 um、15 um
- モノクロメーターX線源
アノード:Al(オプション:Al/Agデュアル)
アノード・結晶調整機構:全自動モーター駆動
Rowland径:500mm
最大出力:600W
- スパッタリングイオン銃(Minibeam 4)
形式:低エネルギー差動排気型フローティングイオン銃
加速電圧:500 ~ 4,000V
ガスコントロール:ピエゾ電子制御バルブによる自動コント ロール
- エネルギーアナライザー
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- 試料分析チャンバー
材質:ミューメタル
真空ポンプ:ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ
- 試料ステージ
形式:X、Y、Z、θ、⌀ 5 軸自動ステージ
標準試料(試料ステージ上に常備):Ag、Au、Cu、グリッド、ファラデーカップ
- 試料導入室
同時排気ホルダー数:3枚
真空ポンプ:ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ
- 試料観察システム
カメラ位置:試料導入室および分析室
- データ処理システム
ESCApeデータ処理システム
- 試料分析チャンバー
設置仕様
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設置スペース 5.0m(W)× 3.0m(D)× 2.5m(H)以上 搬入口 幅140cm × 高さ198cm以上 重量 1200kg(装置本体、標準構成の場合) 電源 単相 AC200V、50A(装置本体用) -
X線装置設置の届出義務について
X線装置は、設置するにあたり、所轄の労働基準監督署へ設置届の提出が義務付けられています。(独立行政法人以外の官庁関係への設置の場合は、人事院への届出が必要です。)
寸法・設置例

Specifications
X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) |
Spectroscopic performance is defined as counts per second for a FWHM measured for the Ag 3d5/2 component. |
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XPS parallel imaging |
Ultimate spatial resolution of parallel imaging mode is 1 um. |
Performance on insulators |
The AXIS Supra+ has an electron only charge neutralisation system. Performance of the charge neutraliser system is confirmed on the standard polymer, polyethylene terephthalate (PET). |
Sample handling |
5-axis, motorised precision manipulator integrated with fully automated sample exchange for up to 3 sample holders. |
Ion source |
Minibeam 4 monatomic Ar+ ion source or Minibeam 6 multi-mode Gas Cluster Ion Source (GCIS) for sample cleaning and sputter depth profiling. |
Kratos Analytical has a policy of continuous product improvement and therefore reserves the right to make alterations to specifications without notice. Please contact us to request the latest AXIS Supra+ specification sheet.