KRATOS ULTRA2 （英国名AXIS Supra+） - オプション
イメージングX線光電子分析装置
オプション
- スパッタリングイオン銃
- 試料調整・前処理機構
- ● Minbeam 4（標準装備）
イオン種：Ar 単原子イオン
加速電圧：500 ～ 4,000V
● Minbeam 6（オプション）
イオン種：アルゴンガスクラスターイオン、Ar 単原子イオン
クラスターサイズ： 500 ～ 3,000
加速電圧：500 ～ 20,000V - ● 分析室内試料加熱冷却機構（+800℃～ -100℃）
● 試料導入室内試料加熱冷却機構（+800℃～ -100℃）
● 高圧ガス反応セル
● 特別大型試料前処理室（ Surface Science Station）
● 試料導入室直結グローブボックス（雰囲気制御可能）
● エアセンシティブサンプルトランスポーター
（真空保持またはガス置換型）
● ブロードスポットイオン銃
● 結晶へき開・研磨装置
- マルチテクニック対応
- 試料ホルダー
- ● 紫外光源：UPS（紫外線光電子分光法）
● フィールドエミッション電子銃：
AES（オージェ電子分光法）、
SAM（スキャニングオージェ電子分光法）、
SEM（2 次電子顕微鏡）
● ISS（ イオン散乱分光）
● LEED（低速電子線回折）
● SIMS（二次イオン質量分析法）
● IPES（逆光電子分光）
● REELS（反射電子エネルギー損失分光法） - ● 温度制御マルチコンタクト（多極通電）試料ホルダー
● シャトルホルダー
● 温度制御マルチコンタクト（多極通電）シャトルホルダー
● 粉末用シャトルホルダー
- X 線源
- Surface Science Station
- Al/Ag デュアルアノードモノクロメーター
（高エネルギーXPS 対応）
● Mg/Al デュアルアノードアクロマティックX 線銃
● 高輝度モノクロメーターX 線源 - 分析室直結型の多目的大型試料処理室です。
試料前処理機構や分光器を追加することにより、多様な実験ニー
ズに対応する環境を構築することができます。● 独立真空排気システム
● 手動試料ステージ
● 蒸着装置
● LEED
● SIMS
● IPES
● 結晶へき開・研磨装置
- データ処理システム
- ● ESCApe オフラインデータ処理パッケージ
● CasaXPS データ処理ソフトウエア
● MEM（ Maximum Entropy Method）角度分解XPSデータ処理
ソフトウエア