SPM-Nanoa 主な仕様
多彩な拡張機能
スキャナ | 最大走査範囲 (X・Y・Z) |
10μm×10μm×1μm(標準) 30μm×30μm×5μm(オプション) 125μm×125μm×1μm(オプション) 55μm×55μm×13μm(オプション) 2.5μm×2.5μm×0.3μm(オプション) |
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試料ステージ | 試料最大形状 | ø50mm×8mm ø50mmの場合は試料の中心部のみ観察可能 |
最大可動範囲 | ±5mm ø40mm以下の試料をスキャナ中心に設置した時 |
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光学顕微鏡観察 | 総合倍率 | 約220倍~ 1300倍 (21.5インチモニタに最大表示した場合) |
設置仕様
設置室の環境
設置室の望ましい空調条件は次の通りです。
温度 | 23°C±5°C |
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湿度 | 60%以下(結露しないこと) |
電源
本装置の運転には,次の電源が必要です。
単相 | AC100 V-240 V 50/60 Hz 15 A 1口 |
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接地 | D種接地 |
装置の大きさと重さ
設置室の望ましい空調条件は次の通りです。
顕微鏡ユニット | W220×D370×H520 mm 24 kg |
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制御ユニット | W190×D400×H440 mm 14 kg |

*PCとモニターはオプションです