SPM-Nanoa 主な仕様
多彩な拡張機能
| 分解能 | XY | 0.2 nm |
|---|---|---|
| Z | 0.01 nm | |
| SPMヘッド | 変位検出系 | 光源／光てこ／検出器 |
| 光源 | レーザーダイオード | |
| 検出器 | フォトディテクター | |
| スキャナ | 最大走査範囲 （X・Y・Z） |
10 μm× 10 μm× 1 μm（標準） 30 μm× 30 μm× 5 μm（オプション） 125 μm×125 μm× 7 μm（オプション） 55 μm× 55 μm× 13 μm（オプション） 2.5 μm× 2.5 μm× 0.3 μm（オプション） |
| 試料ステージ | 試料最大形状 | ø50mm×8mm ø50mmの場合は試料の中心部のみ観察可能 |
| 試料交換方式 | 試料ステージ駆動方式 | |
| 試料固定方式 | マグネットによる固定 | |
| 最大可動範囲 | X･Y：±5mm ø40mm以下の試料をスキャナ中心に設置した時 |
|
| Z軸粗動機構 | 最大可動範囲 | 10 mm（電動） |
| 光学顕微鏡観察 | 総合倍率 | 約220倍～ 1300倍 （21.5インチモニタに最大表示した場合） |
| 粗動 | XY：手動 Z：電動（自動フォーカス機能あり） | |
| 照明 | 同軸落射照明（自動調光機能あり） | |
| ステータスインジケータ | 表示 | 動作状態を色別に表示 |
| 除振機構 | 方式 | ゲルダンパをユニットに内蔵 |
制御ユニット
| スキャンコントローラ | X･Y軸制御 | ±210 V 常時16 bit分解能 |
|---|---|---|
| Z軸制御 | ±210 V 最大26 bit分解能 | |
| 通信インターフェイス | 形式 | TCP/IPプロトコル |
ソフトウェア
| インターフェイス | 使用言語 | 日本語，英語，中国語から選択 |
|---|---|---|
| オンライン | 観察画面表示 | 最大8画面同時表示 |
| 走査範囲 | 0.1 nm～最大走査範囲（装着したスキャナに依存） | |
| 走査速度 | 0.01 Hz～100 Hz（ 観察条件に依存） | |
| 観察画素数 | 2×32 ～ 8192×8192（画面中央で矩形走査可能） | |
| 走査条件設定 | フィードバックゲイン，走査速度などの自動設定可能 | |
| データ量 | 約128 MB～64 kB/画面 | |
| オフライン | 一覧表示 | サムネイルによる一覧表示 |
| 画像データ表示 | 濃淡（トップビュー）表示、三次元表示など画像上での測長可能 | |
| 画像処理 | 傾き補正，ノイズライン除去，局所フィルタ，周波数フィルタ，画像拡大，画像反転，画像回転，解像度変換，ライン抽出，マクロ機能など | |
| 画像解析 | 断面形状解析，線粗さ解析，面粗さ解析，形態解析，平均段差測定，パワースペクトル解析，自己相関解析，フラクタル解析，ラインデータ解析，ラインデータ粗さ解析，粒子解析（オプション）など | |
| ファイル出力 | DIBフォーマット（ビットマップ），TIFFフォーマット，ASCIIフォーマット |
データ処理装置（オプション）
| ホストコンピュータ | OS |
|---|---|
| Windows® 10 Professional（ 64bit） 日本語版 |
|
| インターフェイス | |
| TCP/IPプロトコル | |
| モニタ | 液晶 |
| 21.5インチ | |
| 表示画素 | |
| 1920×1080 |
設置仕様
設置室の環境
設置室の望ましい空調条件は次の通りです。
| 温度 | 23°C±5°C |
|---|---|
| 湿度 | 60%以下（結露しないこと） |
電源
本装置の運転には，次の電源が必要です。
| 単相 | AC100 V-240 V 50/60 Hz 15 A 1口 |
|---|---|
| 接地 | D種接地 |
装置の大きさと重さ
設置室の望ましい空調条件は次の通りです。
| 顕微鏡ユニット | W220×D370×H520 mm 24 kg |
|---|---|
| 制御ユニット | W190×D400×H440 mm 14 kg |
*PCとモニターはオプションです
