SPM-Nanoa 主な仕様

多彩な拡張機能

スキャナ 最大走査範囲
(X・Y・Z)
10μm×10μm×1μm(標準)
30μm×30μm×5μm(オプション)
125μm×125μm×1μm(オプション)
55μm×55μm×13μm(オプション)
2.5μm×2.5μm×0.3μm(オプション)
試料ステージ 試料最大形状 ø50mm×8mm
ø50mmの場合は試料の中心部のみ観察可能
最大可動範囲 ±5mm
ø40mm以下の試料をスキャナ中心に設置した時
光学顕微鏡観察 総合倍率 約220倍~ 1300倍
(21.5インチモニタに最大表示した場合)

設置仕様

設置室の環境

設置室の望ましい空調条件は次の通りです。

温度 23°C±5°C
湿度 60%以下(結露しないこと)

電源

本装置の運転には,次の電源が必要です。

単相 AC100 V-240 V 50/60 Hz 15 A 1口
接地 D種接地

装置の大きさと重さ

設置室の望ましい空調条件は次の通りです。

顕微鏡ユニット W220×D370×H520 mm 24 kg
制御ユニット W190×D400×H440 mm 14 kg

*PCとモニターはオプションです

Top of This Page

お問い合わせ