SPM-Nanoa 主な仕様

多彩な拡張機能

分解能 XY 0.2 nm
Z 0.01 nm
SPMヘッド 変位検出系 光源/光てこ/検出器
光源 レーザーダイオード
検出器 フォトディテクター
スキャナ 最大走査範囲
(X・Y・Z)
10 μm× 10 μm× 1 μm(標準)
30 μm× 30 μm× 5 μm(オプション)
125 μm×125 μm× 7 μm(オプション)
55 μm× 55 μm× 13 μm(オプション)
2.5 μm× 2.5 μm× 0.3 μm(オプション)
試料ステージ 試料最大形状 ø50mm×8mm
ø50mmの場合は試料の中心部のみ観察可能
試料交換方式 試料ステージ駆動方式
試料固定方式 マグネットによる固定
最大可動範囲 X・Y:±5mm
ø40mm以下の試料をスキャナ中心に設置した時
Z軸粗動機構 最大可動範囲 10 mm(電動)
光学顕微鏡観察 総合倍率 約220倍~ 1300倍
(21.5インチモニタに最大表示した場合)
粗動 XY:手動 Z:電動(自動フォーカス機能あり)
照明 同軸落射照明(自動調光機能あり)
ステータスインジケータ 表示 動作状態を色別に表示
除振機構 方式 ゲルダンパをユニットに内蔵

制御ユニット

 
スキャンコントローラ X・Y軸制御 ±210 V 常時16 bit分解能
Z軸制御 ±210 V 最大26 bit分解能
通信インターフェイス 形式 TCP/IPプロトコル

ソフトウェア

インターフェイス 使用言語 日本語,英語,中国語から選択
オンライン 観察画面表示 最大8画面同時表示
走査範囲 0.1 nm~最大走査範囲(装着したスキャナに依存)
走査速度 0.01 Hz~100 Hz( 観察条件に依存)
観察画素数 2×32 ~ 8192×8192(画面中央で矩形走査可能)
走査条件設定 フィードバックゲイン,走査速度などの自動設定可能
データ量 約128 MB~64 kB/画面
オフライン 一覧表示 サムネイルによる一覧表示
画像データ表示 濃淡(トップビュー)表示、三次元表示など画像上での測長可能
画像処理 傾き補正,ノイズライン除去,局所フィルタ,周波数フィルタ,画像拡大,画像反転,画像回転,解像度変換,ライン抽出,マクロ機能など
画像解析 断面形状解析,線粗さ解析,面粗さ解析,形態解析,平均段差測定,パワースペクトル解析,自己相関解析,フラクタル解析,ラインデータ解析,ラインデータ粗さ解析,粒子解析(オプション)など
ファイル出力 DIBフォーマット(ビットマップ),TIFFフォーマット,ASCIIフォーマット

データ処理装置(オプション)

ホストコンピュータ OS
Windows® 10 Professional( 64bit)
日本語版
インターフェイス
TCP/IPプロトコル
モニタ 液晶
21.5インチ
表示画素
1920×1080
 

設置仕様

設置室の環境

設置室の望ましい空調条件は次の通りです。

温度 23°C±5°C
湿度 60%以下(結露しないこと)

電源

本装置の運転には,次の電源が必要です。

単相 AC100 V-240 V 50/60 Hz 15 A 1口
接地 D種接地

装置の大きさと重さ

設置室の望ましい空調条件は次の通りです。

顕微鏡ユニット W220×D370×H520 mm 24 kg
制御ユニット W190×D400×H440 mm 14 kg

*PCとモニターはオプションです

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