SPM-Nanoa 主な仕様
多彩な拡張機能
| スキャナ | 最大走査範囲 （X・Y・Z） |
10μm×10μm×1μm（標準） 30μm×30μm×5μm（オプション） 125μm×125μm×1μm（オプション） 55μm×55μm×13μm（オプション） 2.5μm×2.5μm×0.3μm（オプション） |
|---|---|---|
| 試料ステージ | 試料最大形状 | ø50mm×8mm ø50mmの場合は試料の中心部のみ観察可能 |
| 最大可動範囲 | ±5mm ø40mm以下の試料をスキャナ中心に設置した時 |
|
| 光学顕微鏡観察 | 総合倍率 | 約220倍～ 1300倍 （21.5インチモニタに最大表示した場合） |
設置仕様
設置室の環境
設置室の望ましい空調条件は次の通りです。
| 温度 | 23°C±5°C |
|---|---|
| 湿度 | 60%以下（結露しないこと） |
電源
本装置の運転には，次の電源が必要です。
| 単相 | AC100 V-240 V 50/60 Hz 15 A 1口 |
|---|---|
| 接地 | D種接地 |
装置の大きさと重さ
設置室の望ましい空調条件は次の通りです。
| 顕微鏡ユニット | W220×D370×H520 mm 24 kg |
|---|---|
| 制御ユニット | W190×D400×H440 mm 14 kg |
*PCとモニターはオプションです
