SPM-Nanoa - 仕様

走査型プローブ顕微鏡/原子間力顕微鏡

多彩な拡張機能

分解能	XY : 0.2 nm Z : 0.01 nm
SPMヘッド	変異検出系：光源／光てこ／検出器光源：レーザーダイオード検出器：フォトディテクター
スキャナ	最大走査範囲（X・Y・Z）標準：10 μm × 10 μm × 1 μm オプション：30 μm × 30 μm × 5 μm オプション：125 μm × 125 μm × 7 μm オプション：55 μm × 55 μm × 13 μm オプション：2.5 μm × 2.5 μm × 0.3 μm
試料ステージ	試料最大形状：ø50mm×8mm 　　　　　　　 ø50mmの場合は試料の中心部のみ観察可能試料交換方式：試料ステージ駆動方式試料固定方式：マグネットによる固定最大可動範囲：X･Y:±5mm 　　　　　　　ø40mm以下の試料をスキャナ中心に設置した時
Z軸粗動機構	最大可動範囲：10 mm（電動）
光学顕微鏡観察	総合倍率：約220倍～ 1300倍　　　　　（21.5インチモニタに最大表示した場合）粗動：XY:手動　Z:電動（自動フォーカス機能あり）照明：同軸落射照明（自動調光機能あり）
ステータスインジケータ	表示：動作状態を色別に表示
除振機構	方式：ゲルダンパをユニットに内蔵

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設置仕様

設置室の環境	設置室の望ましい空調条件は次の通りです。温度：23°C±5°C 湿度：60%以下（結露しないこと）
電源	本装置の運転には，次の電源が必要です。単相：AC100 V-240 V 50/60 Hz 15 A 1口接地：D種接地
装置の大きさと重さ	設置室の望ましい空調条件は次の通りです。顕微鏡ユニット：W220×D370×H520 mm 24 kg 制御ユニット：W190×D400×H440 mm 14 kg

*PCとモニターはオプションです

制御ユニット

スキャンコントローラ	X･Y軸制御 : ±210 V　常時16 bit分解能 Z軸制御 : ±210 V　最大26 bit分解能
通信インターフェイス	形式 : TCP/IPプロトコル

ソフトウェア

インターフェイス	使用言語 : 日本語，英語，中国語から選択
オンライン	観察画面表示 : 最大8画面同時表示走査範囲 : 0.1 nm～最大走査範囲（装着したスキャナに依存）走査速度 : 0.01 Hz～100 Hz（観察条件に依存）観察画素数 : 2×32 ～ 8192×8192（画面中央で矩形走査可能）走査条件設定 : フィードバックゲイン，走査速度などの自動設定可能データ量 : 約128 MB～64 kB/画面
オフライン	一覧表示 : サムネイルによる一覧表示画像データ表示 : 濃淡（トップビュー）表示、三次元表示など画像上での測長可能画像処理 : 傾き補正，ノイズライン除去，局所フィルタ，周波数フィルタ，画像拡大，画像反転，画像回転，解像度変換，ライン抽出，マクロ機能など画像解析 : 断面形状解析，線粗さ解析，面粗さ解析，形態解析，平均段差測定，パワースペクトル解析，自己相関解析，フラクタル解析，ラインデータ解析，ラインデータ粗さ解析，粒子解析（オプション）などファイル出力 : DIBフォーマット（ビットマップ），TIFFフォーマット，ASCIIフォーマット

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