SPM-Nanoa - 特長

走査型プローブ顕微鏡/原子間力顕微鏡

自動観察

レーザーの光軸調整と観察中の条件設定,画像処理を自動化

標準試料・標準カンチレバー使用時:所要時間約5分*
* 1 μmの視野を256×256画素で自動観察した場合の所要時間です。所要時間は観察条件によって異なります。

従来のSPMでは慣れが必要だった光軸調整と観察中の条件設定,画像処理を自動化することで,ストレスフリーな観察をサポートします。

高機能

光学顕微鏡からSPMまで鮮明に捉える

光学顕微鏡でターゲットを探し,簡単にSPMで拡大観察ができます。また,表面形状像と同一視野で別の物性情報を取得可能です。

試料:Si上のSiO2パターン

光学顕微鏡からSPMまで鮮明に捉える

多彩な観察モード

形状観察からフォースカーブ測定による物性マッピングまで,多彩な観察モードをサポートしています。物性評価を高分解能で行うことができます。

形状 コンタクト / ダイナミック
機械特性 位相 / 水平力(LFM) / フォースモジュレーション / ナノ3DマッピングFast
電磁気 電流 磁気力(MFM) / 表面電位(KPFM) / 圧電応答(PFM) / STM
加工 ベクタースキャン
雰囲気制御 液中観察

※はオプションです。

ターゲット探索を簡単に

一体型の高性能光学顕微鏡を採用しました。分解能と操作性の向上により,ターゲットの探索が簡単に行えます。

テストパターンの観察

一体型の光学顕微鏡(左)で試料表面の3μmピッチの構造が明瞭に観察できています。

局所的な物性を高分解能で

非常に軟らかい試料の変形や,試料の機械特性・電気特性の違いが局所的であっても高分解能で観察できます。

マイカ基板上の金ナノ粒子のKPFM観察

0.2 μmの形状像(左)と同じ視野の表面電位像(右)が同時に観察できています。

8K画像で高解像度広域観察

広域観察したときでも微細な構造を観察できます。最大8K(8192×8192)画素での高分解能観察を実現しました。

金属蒸着膜の観察

8K画像で高解像度広域観察

時間短縮

多彩なサポート機能で迅速な観察を実現

観察と物性マッピングを高速化することで,観察時間を大幅に短縮しました。簡単な試料交換とカンチレバー交換で,観察前準備も素早く行うことができます。

観察時間の大幅短縮を可能にした3つの機能

 

ハイスループット観察
高速物性マッピング

高速応答を実現したHTスキャナの採用と制御アルゴリズムの最適化により,観察と物性マッピングのデータ取得時間を大幅に短縮しました。

観察時間は観察条件によって異なります。

 

簡単でスムーズな試料交換

ワンタッチでステージを自動でオープン,クローズでき,試料のセットと取り出しができます。レーザーの照射位置が維持されるため,試料交換後もすぐに観察することが可能です。

 

簡単で確実なカンチレバー交換 “カンチレバーマスター(オプション)“

カンチレバーを所定の位置に置き,ガイドに沿って滑らせるだけで,取り付けが可能です。ピンセットの扱いに不慣れな方でも,簡単・確実に作業を行えます。

 

多彩な拡張機能

あらゆる要求に応える機能と拡張性

■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。

コンタクト
■コンタクト

ダイナミック
■ダイナミック

位相
■位相

水平力(LFM)
■水平力(LFM)

コンタクト
■フォースモジュレーション

ダイナミック
□電流・I/V

位相
□表面電位(KPFM)

水平力(LFM)
□磁気力(MFM)

コンタクト
■フォースカーブ
□ナノ3DマッピングFast

ダイナミック
□圧電応答(PFM)

位相
□STM

水平力(LFM)
□ベクタースキャン

水平力(LFM)
□液中観察

オプション

■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。

HTスキャナ
■HTスキャナ
(10μm×10μm×1μm)

中域スキャナ
□中域スキャナ
(30μm×30μm×5μm)

広域スキャナ
□広域スキャナ
(125μm×125μm×7μm)

深型スキャナ
□深型スキャナ
(55μm×55μm×13μm)

狭域スキャナ
□狭域スキャナ
(2.5μm×2.5μm×0.5μm)

断面観察用試料ホルダ
□断面観察用試料ホルダ

粒子解析ソフトウェア
□粒子解析ソフトウェア

アクティブ除振台
□アクティブ除振台

専用架台付きアクティブ除振台
□専用架台付きアクティブ除振台

カンチレバー
□カンチレバー
  取り付け治具

静電気除去器
□静電気除去器

OAテーブル
□OAテーブル

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