SPM-Nanoa - 特長
走査型プローブ顕微鏡/原子間力顕微鏡
自動観察
レーザーの光軸調整と観察中の条件設定、画像処理を自動化 
標準試料・標準カンチレバー使用時：所要時間約５分*
* 1 μmの視野を256×256画素で自動観察した場合の所要時間です。所要時間は観察条件によって異なります。
従来のSPMでは慣れが必要だった光軸調整と観察中の条件設定、画像処理を自動化することで、ストレスフリーな観察をサポートします。
高機能
光学顕微鏡からSPMまで鮮明に捉える
光学顕微鏡でターゲットを探し、簡単にSPMで拡大観察ができます。また、表面形状像と同一視野で別の物性情報を取得可能です。
試料：Si上のSiO2パターン
多彩な観察モード
形状観察からフォースカーブ測定による物性マッピングまで、多彩な観察モードをサポートしています。物性評価を高分解能で行うことができます。
| 形状 | コンタクト / ダイナミック |
|---|---|
| 機械特性 | 位相 / 水平力（LFM） / フォースモジュレーション / ナノ3DマッピングFast※ |
| 電磁気 | 電流※ 磁気力（MFM）※ / 表面電位（KPFM）※ / 圧電応答（PFM）※ / STM※ |
| 加工 | ベクタースキャン※ |
| 雰囲気制御 | 液中観察※ |
※はオプションです。
ターゲット探索を簡単に
一体型の高性能光学顕微鏡を採用しました。分解能と操作性の向上により、ターゲットの探索が簡単に行えます。
テストパターンの観察
一体型の光学顕微鏡（左）で試料表面の3μmピッチの構造が明瞭に観察できています。
局所的な物性を高分解能で
非常に軟らかい試料の変形や、試料の機械特性・電気特性の違いが局所的であっても高分解能で観察できます。
マイカ基板上の金ナノ粒子のKPFM観察
0.2 μmの形状像（左）と同じ視野の表面電位像（右）が同時に観察できています。
8K画像で高解像度広域観察
広域観察したときでも微細な構造を観察できます。最大8K（8192×8192）画素での高分解能観察を実現しました。
金属蒸着膜の観察
時間短縮
多彩なサポート機能で迅速な観察を実現
観察と物性マッピングを高速化することで、観察時間を大幅に短縮しました。簡単な試料交換とカンチレバー交換で、観察前準備も素早く行うことができます。
観察時間の大幅短縮を可能にした3つの機能
ハイスループット観察
高速物性マッピング
高速応答を実現したHTスキャナの採用と制御アルゴリズムの最適化により、観察と物性マッピングのデータ取得時間を大幅に短縮しました。
＊観察時間は観察条件によって異なります。
簡単でスムーズな試料交換
ワンタッチでステージを自動でオープン、クローズでき、試料のセットと取り出しができます。レーザーの照射位置が維持されるため、試料交換後もすぐに観察することが可能です。
簡単で確実なカンチレバー交換 “カンチレバーマスター（オプション）“
カンチレバーを所定の位置に置き、ガイドに沿って滑らせるだけで、取り付けが可能です。ピンセットの扱いに不慣れな方でも、簡単・確実に作業を行えます。
多彩な拡張機能
あらゆる要求に応える機能と拡張性
■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。
■コンタクト
■ダイナミック
■位相
■水平力（LFM）
■フォースモジュレーション
□電流・I/V
□表面電位（KPFM）
□磁気力（MFM）
■フォースカーブ
□ナノ3DマッピングFast
□圧電応答（PFM）
□STM
□ベクタースキャン
□液中観察
オプション
■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。
■HTスキャナ
（10μm×10μm×1μm）
□中域スキャナ
（30μm×30μm×5μm）
□広域スキャナ
（125μm×125μm×7μm）
□深型スキャナ
（55μm×55μm×13μm）
□狭域スキャナ
（2.5μm×2.5μm×0.5μm）
□断面観察用試料ホルダ
□粒子解析ソフトウェア
□アクティブ除振台
□専用架台付きアクティブ除振台
□カンチレバー
取り付け治具
□静電気除去器
□OAテーブル