SPM-Nanoa 特長

 

自動観察

レーザーの光軸調整と観察中の条件設定、画像処理を自動化

標準試料・標準カンチレバー使用時:所要時間約5分*
* 1μmの視野を256×256画素で自動観察した場合の所要時間です。所要時間には個人差があります。

従来のSPMでは慣れが必要だった光軸調整と観察中の条件設定,画像処理を自動化することで,ストレスフリーな観察をサポートします。

 

高機能

光学顕微鏡からSPMまで鮮明に捉える

光学顕微鏡でターゲットを探し、簡単にSPMで拡大観察ができます。表面形状像と同一視野で別の物性情報を取得できます。

試料:Si上のSiO2パターン

光学顕微鏡からSPMまで鮮明に捉える

多彩な観察モード

形状観察からフォースカーブ測定による物性マッピングまで,多彩な観察モードをサポートしています。物性評価を高分解能で行うことができます。

形状 コンタクト / ダイナミック
機械特性 位相 / 水平力(LFM) / フォースモジュレーション / ナノ3DマッピングFast
電磁気 電流 磁気力(MFM) / 表面電位(KPFM) / 圧電応答(PFM) / STM
加工 ベクタースキャン
雰囲気制御 液中観察

※はオプションです。

ターゲット探索を簡単に

振動の影響を受けずに鮮明な光学顕微鏡画像からターゲットの探索が簡単にできます。高性能光学顕微鏡とSPMユニットを一体化しました。

テストパターンの観察

一体型の光学顕微鏡(左)で試料表面の3μmピッチの構造が明瞭に観察できています。

局所的な物性を高分解能で

非常に軟らかい試料の変形や,試料の機械特性・電気特性の違いが局所的であっても高分解能で観察できます。

マイカ基板上の金ナノ粒子のKPFM観察

0.2μmの形状像(左)と同じ視野の表面電位像(右)が観察できています。

8K画像で高解像度広域観察

広域観察したときでも微細な構造を観察できます。最大8K(8192×8192)画素での高分解能観察を実現しました。

金属蒸着膜の観察

8K画像で高解像度広域観察

 

時間短縮

多彩なサポート機能で迅速な観察を実現

観察と物性マッピングを高速化することで,観察時間の大幅に短縮しました。簡単な試料交換とカンチレバー交換で,観察前準備も素早く行うことができます。

観察時間の大幅短縮を可能にした3つの機能

 

ハイスループット観察
高速物性マッピング

高速応答を実現したHTスキャナの採用と制御アルゴリズムの最適化により,観察と物性マッピングのデータ取得時間を大幅に短縮しました。

観察時間は観察条件によって異なります。

 

簡単でスムーズな試料交換

ワンタッチでステージを自動でオープン,クローズでき,試料のセットと取り出しができます。レーザーの照射位置が維持されるため,試料交換後もすぐに観察することが可能です。

 

簡単で確実なカンチレバー交換 -カンチレバーマスター(オプション)-

カンチレバーを所定の位置に置き,ガイドに沿って滑らせるだけで,取り付けが可能です。ピンセットの扱いに不慣れな方でも,簡単・確実に作業を行えます。

 

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