SPM-Nanoa 特長
自動観察
レーザーの光軸調整と観察中の条件設定、画像処理を自動化
標準試料・標準カンチレバー使用時：所要時間約５分*
* 1μmの視野を256×256画素で自動観察した場合の所要時間です。所要時間には個人差があります。
従来のSPMでは慣れが必要だった光軸調整と観察中の条件設定，画像処理を自動化することで，ストレスフリーな観察をサポートします。
高機能
光学顕微鏡からSPMまで鮮明に捉える
光学顕微鏡でターゲットを探し、簡単にSPMで拡大観察ができます。表面形状像と同一視野で別の物性情報を取得できます。
試料：Si上のSiO2パターン
多彩な観察モード
形状観察からフォースカーブ測定による物性マッピングまで，多彩な観察モードをサポートしています。物性評価を高分解能で行うことができます。
| 形状 | コンタクト / ダイナミック |
|---|---|
| 機械特性 | 位相 / 水平力（LFM） / フォースモジュレーション / ナノ3DマッピングFast※ |
| 電磁気 | 電流※ 磁気力（MFM）※ / 表面電位（KPFM）※ / 圧電応答（PFM）※ / STM※ |
| 加工 | ベクタースキャン※ |
| 雰囲気制御 | 液中観察※ |
※はオプションです。
ターゲット探索を簡単に
振動の影響を受けずに鮮明な光学顕微鏡画像からターゲットの探索が簡単にできます。高性能光学顕微鏡とSPMユニットを一体化しました。
テストパターンの観察
一体型の光学顕微鏡（左）で試料表面の3μmピッチの構造が明瞭に観察できています。
局所的な物性を高分解能で
非常に軟らかい試料の変形や，試料の機械特性・電気特性の違いが局所的であっても高分解能で観察できます。
マイカ基板上の金ナノ粒子のKPFM観察
0.2μmの形状像（左）と同じ視野の表面電位像（右）が観察できています。
8K画像で高解像度広域観察
広域観察したときでも微細な構造を観察できます。最大8K（8192×8192）画素での高分解能観察を実現しました。
金属蒸着膜の観察
時間短縮
多彩なサポート機能で迅速な観察を実現
観察と物性マッピングを高速化することで，観察時間の大幅に短縮しました。簡単な試料交換とカンチレバー交換で，観察前準備も素早く行うことができます。
観察時間の大幅短縮を可能にした3つの機能
ハイスループット観察
高速物性マッピング
高速応答を実現したHTスキャナの採用と制御アルゴリズムの最適化により，観察と物性マッピングのデータ取得時間を大幅に短縮しました。
＊観察時間は観察条件によって異なります。
簡単でスムーズな試料交換
ワンタッチでステージを自動でオープン，クローズでき，試料のセットと取り出しができます。レーザーの照射位置が維持されるため，試料交換後もすぐに観察することが可能です。
簡単で確実なカンチレバー交換 －カンチレバーマスター（オプション）－
カンチレバーを所定の位置に置き，ガイドに沿って滑らせるだけで，取り付けが可能です。ピンセットの扱いに不慣れな方でも，簡単・確実に作業を行えます。
