EPMA-8050G

電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalyzer)

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EPMA-8050G

“The Grand EPMA” 誕生

最新鋭のFE電子光学系で究極に進化した島津EPMAの分析能力

SEM観察条件から1µAオーダーに至るまで、全てのビーム電流条件でかつてない卓越した空間分解能が得られる最新鋭のFE電子光学系を搭載。島津伝統の高性能X線分光器との融合により、その分析能力は究極と言えるまでに進化しました。

まさに “The Grand EPMA” と呼ぶにふさわしい、最高峰のEPMAの誕生です。

 

特長

  • 超高分解能マッピング
    超高分解能マッピング
    カーボン上のSnボールを倍率3万倍でマッピング分析しました。SE像（左）で直径わずか50nm程度と見られるSnの粒子までもがX線像（右）で明確に確認できます。
  • かつてない卓越した空間分解能
    かつてない卓越した空間分解能
    EPMAとして最高レベルの二次電子像最高分解能 3nm（加速電圧30kV）。分析条件でナンバーワンの二次電子像分解能。
    （加速電圧10kVにおいて、20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1µA）
  • 微小領域の超高感度分析を可能にする先進技術
    微小領域の超高感度分析を可能にする先進技術
    SEMで一般的に用いられるものよりも先端径の大きい高出力タイプのショットキーエミッタを採用したFE電子銃。高輝度でありながら高感度分析に不可欠な大電流の電子ビームが安定して得られます。
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