EPMA-8050G

電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalyzer)

“The Grand EPMA” 誕生

特長

超高分解能マッピング

カーボン上のSnボールを倍率3万倍でマッピング分析しました。SE像（左）で直径わずか50nm程度と見られるSnの粒子までもがX線像（右）で明確に確認できます。
かつてない卓越した空間分解能

EPMAとして最高レベルの二次電子像最高分解能 3nm（加速電圧30kV）。分析条件でナンバーワンの二次電子像分解能。
（加速電圧10kVにおいて、20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1µA）
超高感度分析を可能にする大ビーム電流

最大ビーム電流3.0µA（加速電圧30kV）を実現。全てのビーム電流範囲で対物絞り交換必要なし。
高性能4インチX線分光器を最大5台搭載可能

他の追従を許さないX線取り出し角度52.5度。高感度と高分解能を両立するローランド円半径4インチ。同タイプのX線分光器を最大5台搭載可能。
すべての分析を簡単に分かりやすく操作

全ての操作がマウスひとつで行える先進の操作性。「分かりやすさ」を追求したユーザインターフェース。レポート作成まで自動で行う簡単モードを搭載。
微小領域の超高感度分析を可能にする先進技術

SEMで一般的に用いられるものよりも先端径の大きい高出力タイプのショットキーエミッタを採用したFE電子銃。高輝度でありながら高感度分析に不可欠な大電流の電子ビームが安定して得られます。