EPMA-8050G - オプション
電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalyzer)
オプション
トレースマッピング分析
標準のマッピング分析にトレース機能が追加できます。表面に凸凹がある試料や傾斜面がある試料など、X-Yの位置によって高さが異なる時に試料のZ軸高さを補正し、信号強度の低下を抑えた精度の高いマッピング分析が行えます。
この機能は、予め複数の点で取得した高さ情報に基づき、分析中にステージのZ軸座標を逐一制御することで実現します。設定した高さ情報で求められるトレース面は、等高線や3D表示で確認できます。
原理図
マッピング分析結果
試料例 20cent 硬貨：Cuマッピング
トレースを利用することで、より正しい元素分布を取得できます。
※トレースは、人物像と周辺を中心に行い、☆や外枠は対象としていません。
トレースライン分析
トレースマッピング分析と同じく、標準のライン分析にトレース機能が追加できます。
相解析プログラム
各元素のマッピングデータから2元素または3元素の相関で散布図を作成し、元素同士が特定の関係を持つ領域ごとに色分けして表示します。また、複数の散布図を同時に表示し、より多元素の相関を見ることができます。
特長
散布図を3D表示することで、様々な視点から相関を見ることができます。
元素や散布図を切替ながら、多岐の相関を解析できます。
電子線侵入領域
照射した電子線が、試料の表面からどのくらいの深さや幅で分析されているのかシミュレートできます。X線の侵入領域を求める計算方法には、電子線の拡散の大きさや分析領域を求めるエレクトロンレンジと、 ひとつひとつの電子の軌跡を追い全体の電子の軌跡（侵入領域）を求めるモンテカルロ法があります。