Xslicer™ SMX™-6010

マイクロフォーカスX線検査装置

X線透視とPCT(斜めCT)撮影をシームレスに融合

Xslicer SMX-6010

Xslicer SMX-6010は自社製マイクロフォーカスX線発生装置と300万画素のフラットパネル検出器を搭載した縦照射型X線検査装置です。
高精細かつ広ダイナミックレンジ画像で,微細な内部構造や欠陥を観察できます。
また,透視/PCT(斜めCT)をスムーズに切り替えワーク形状に合わせた多様な観察が可能です。
小型化が進む電子部品から高密度,多層化の進む実装基板まで様々なワークの検査をサポートします。

CT撮影の種類・特長

 PCT(斜めCT):標準搭載しているCT機能

X線検出器を斜めに配置し,X線検出器を回転させて透視画像を撮影することで,CT撮影を行います。
XYステージ上にあるワークはX線発生装置に近づけられるため,ワークの幅によらず拡大してPCT撮影が行えます。

斜めCT

 PCT(斜めCT)の特長

基板上のワークの場合,ワークの幅に影響される直交CTとは異なり斜めCTでは高倍率撮影が可能です。

観察事例

 

 VCT(直交CT):オプション

sample

X線検出器を上方に固定し、ワークを回転させて透視画像を撮影することで、CT撮影を行います。
拡大はワークの幅に依存しますが、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影ができます。
CTユニットを透視ステージにセットし、ソフトウェアタブを切り替えるだけで、VCT撮影が可能です。

サイズ

基板100 × 150 mm以下
小物ワークΦ50 × 100 mm以下

※上記サイズ内であっても、ワークの大きさ、撮影位置により、専用チャック等の治具が必要になる場合があります。

質量 200 g 以下

aaaaa 

 VCT(直交CT)の特長

PCTは、斜め方向から撮影した画像をもとに画像再構成を行うため、縦断面画像においてその影響がわずかに出ます。
VCTは、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影するため、縦断面画像が鮮明になります。

直交CT

システム構成

 保守が容易な自社製X線発生装置と各種安全機構を搭載した
 システムにより低コストかつ安全に使用可能

X線発生装置

管電圧160 kV,1 µm分解能 開放型X線発生装置を搭載。
高電圧トランスと一体化を実現し,グリスアップの必要がありません。
フィラメント交換は調整の自動化により,簡略化を実現しています。
※1 µm分解能:JIMA チャート分解による

 

X線検出器

X線検出器

300万画素のフラットパネル検出器を搭載。

 

5軸ステージ

ワーク搭載ステージのXYZ軸に加え,検出器が傾動,旋回します。
5軸が連動しあらゆる角度からの検査をサポートします。

X線防護箱

十分にX線を遮へいしています。(外部漏えいX線1 µSv/h 以下)
X線照射中は,正面扉ロック機構により,正面扉が開きません。
また,インターロック機構により扉が開いている状態では5軸ステージは動きません。

 

衝突検知センサー

X線検出器の周囲に衝突検知センサを搭載しており緊急時(ワーク衝突時)は駆動系を停止させます。

 

ユーティリティ

AC200 V±10 % 1.5 kVA(接地抵抗100 Ω以下)のみで動作可能です。
エアー,冷却水などの供給は必要ありません。

特長

More
{"title":"\u30c0\u30a6\u30f3\u30ed\u30fc\u30c9","description":"Download the latest brochure.","source":"product","key":4633,"max":"30","filter_types":["brochures"],"link_title":"View other Downloads","link_url":"","pdf_links":[]} {"title":"\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3","source":"product","key":4633,"max":"3","filter_types":["applications","application_note","posters"],"link_title":"More","link_url":"\/products\/non-destructive-testing\/microfocus-x-ray-inspection-system\/xslicer-smx-6010\/applications.html","config_list":[],"page_links":[]} {"title":"\u30c6\u30af\u30cb\u30ab\u30eb\u30c9\u30ad\u30e5\u30e1\u30f3\u30c8","source":"product","key":4633,"max":"3","filter_types":["technical","technical_reports","white_papers","primers"],"link_title":"More","link_url":"\/products\/non-destructive-testing\/microfocus-x-ray-inspection-system\/xslicer-smx-6010\/applications.html#tbaleAnchor_technical","config_list":[],"page_links":[]} {"title":"\u30de\u30cb\u30e5\u30a2\u30eb","source":"product","key":4633,"max":"3","filter_types":["manuals"],"link_title":"More","link_url":"\/products\/non-destructive-testing\/microfocus-x-ray-inspection-system\/xslicer-smx-6010\/applications.html#tbaleAnchor_manual","config_list":[],"page_links":[]}

News / Events

More