Xslicer™ SMX™-6010

マイクロフォーカスX線検査装置

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X線透視とPCT（斜めCT）撮影をシームレスに融合

Xslicer SMX-6010

Xslicer SMX-6010は自社製マイクロフォーカスX線発生装置と300万画素のフラットパネル検出器を搭載した縦照射型X線検査装置です。
高精細かつ広ダイナミックレンジ画像で，微細な内部構造や欠陥を観察できます。
また，透視/PCT（斜めCT）をスムーズに切り替えワーク形状に合わせた多様な観察が可能です。
小型化が進む電子部品から高密度，多層化の進む実装基板まで様々なワークの検査をサポートします。

CT撮影の種類・特長

  PCT（斜めCT）：標準搭載しているCT機能

X線検出器を斜めに配置し，X線検出器を回転させて透視画像を撮影することで，CT撮影を行います。
XYステージ上にあるワークはX線発生装置に近づけられるため，ワークの幅によらず拡大してPCT撮影が行えます。

斜めCT

  PCT（斜めCT）の特長

基板上のワークの場合，ワークの幅に影響される直交CTとは異なり斜めCTでは高倍率撮影が可能です。

観察事例

 

  VCT（直交CT）：オプション

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X線検出器を上方に固定し、ワークを回転させて透視画像を撮影することで、CT撮影を行います。
拡大はワークの幅に依存しますが、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影ができます。
CTユニットを透視ステージにセットし、ソフトウェアタブを切り替えるだけで、VCT撮影が可能です。

サイズ

基板100 × 150 mm以下
小物ワークΦ50 × 100 mm以下

※上記サイズ内であっても、ワークの大きさ、撮影位置により、専用チャック等の治具が必要になる場合があります。
質量 200 g 以下

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  VCT（直交CT）の特長

PCTは、斜め方向から撮影した画像をもとに画像再構成を行うため、縦断面画像においてその影響がわずかに出ます。
VCTは、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影するため、縦断面画像が鮮明になります。

直交CT

システム構成

  保守が容易な自社製X線発生装置と各種安全機構を搭載した
  システムにより低コストかつ安全に使用可能

X線発生装置

管電圧160 kV，1 µm分解能 開放型X線発生装置を搭載。
高電圧トランスと一体化を実現し，グリスアップの必要がありません。
フィラメント交換は調整の自動化により，簡略化を実現しています。
※1 µm分解能：JIMA チャート分解による

 

X線検出器

X線検出器

300万画素のフラットパネル検出器を搭載。

 

5軸ステージ

ワーク搭載ステージのXYZ軸に加え，検出器が傾動，旋回します。
5軸が連動しあらゆる角度からの検査をサポートします。

X線防護箱

十分にX線を遮へいしています。（外部漏えいX線1 µSv/h 以下）
X線照射中は，正面扉ロック機構により，正面扉が開きません。
また，インターロック機構により扉が開いている状態では5軸ステージは動きません。

 

衝突検知センサー

X線検出器の周囲に衝突検知センサを搭載しており緊急時（ワーク衝突時）は駆動系を停止させます。

 

ユーティリティ

AC200 V±10 %　1.5 kVA（接地抵抗100 Ω以下）のみで動作可能です。
エアー，冷却水などの供給は必要ありません。

特長

  • シンプルかつ快適な操作性
    シンプルかつ快適な操作性
    わずか3ステップでX線透視撮影を開始。シンプルなUIで操作者を選ばず簡単に撮影ができます。また透視・CTの切り替えはボタン一つ。ワークにあわせて容易に撮影方法を切り替えできます。
  • 検査をサポートする豊富な機能
    検査をサポートする豊富な機能
    連続透視，CT撮影を実現するティーチング機能やステップ送り機能に加え，取得画像の数値計測を行う様々な計測機能を搭載。操作者の検査をサポートし，検査にかかる工数の削減に貢献します。
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