Xslicer SMX™-6010

マイクロフォーカスX線検査装置

X線透視とCT撮影をシームレスに融合

Xslicer SMX-6010

Xslicer SMX-6010は自社製マイクロフォーカスX線発生装置と300万画素のフラットパネル検出器を搭載した縦照射型X線検査装置です。
高精細かつ広ダイナミックレンジ画像で,微細な内部構造や欠陥を観察できます。
また,透視/CTをスムーズに切り替えワーク形状に合わせた多様な観察が可能です。
小型化が進む電子部品から高密度,多層化の進む実装基板まで様々なワークの検査をサポートします。

特長

斜めCT撮影の原理と特長

 平面状のワークの高拡大撮影が可能

■斜めCT

斜めCT

大型基板等を斜めCTで撮影する場合ワークはXYステージ上にあるため,X線発生装置に寄せることができ,高拡大撮影が可能です。

■直交CT

直交CT

直交CTを回転テーブル上面から見た図

大型基板等を直交CTで撮影する場合拡大率を上げるためにX線発生装置側にワークを寄せると,CT撮影中にX線発生装置と干渉するため,高拡大撮影ができません。

 観察事例

基板上のワークの場合,ワークの幅に影響される直交CTとは異なり斜めCTでは高倍率撮影が可能です。

観察事例

システム構成

 斜保守が容易な自社製X線発生装置と各種安全機構を搭載した
 システムにより低コストかつ安全に使用可能

X線発生装置

管電圧160 kV,1 µm分解能 開放型X線発生装置を搭載。
高電圧トランスと一体化を実現し,グリスアップの必要がありません。
フィラメント交換は調整の自動化により,簡略化を実現しています。
※1 µm分解能:JIMA チャート分解による

 

X線検出器

X線検出器

300万画素のフラットパネル検出器を搭載。

 

5軸ステージ

ワーク搭載ステージのXYZ軸に加え,検出器が傾動,旋回します。
5軸が連動しあらゆる角度からの検査をサポートします。

X線防護箱

十分にX線を遮へいしています。(外部漏えいX線1 µSv/h 以下)
X線照射中は,正面扉ロック機構により,正面扉が開きません。
また,インターロック機構により扉が開いている状態では5軸ステージは動きません。

 

衝突検知センサー

X線検出器の周囲に衝突検知センサを搭載しており緊急時(ワーク衝突時)は駆動系を停止させます。

 

ユーティリティ

AC200 V±10 % 1.5 kVA(接地抵抗100 Ω以下)のみで動作可能です。
エアー,冷却水などの供給は必要ありません。

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