OLS5500

3D測定レーザー顕微鏡

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OLS5500

信頼できる表面解析・確かな測定精度

白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡OLS5500は、レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションという3つの技術を1台に統合した高性能なプラットフォームです。本製品は、研究開発や品質保証、品質管理などの現場におけるニーズにお応えするために設計されています。微細な表面形状の詳細な観察、トレーサブルな高精度測定、そして直感的に操作できるユーザーインターフェースを通じて、日々の業務の効率化と品質向上を力強く支援します。

信頼性の高い測定精度、そしてスマートな自動化機能によって得られる「確かなデータ」が、あたり付けから詳細解析までのプロセスをスムーズに進めることを可能にします。

基本原理

  • 色情報の取得

    カラー撮像光学系では、白色LED光源とCMOSカメラを用いて色情報を取得します。これにより、色の再現性に優れ、表面の特徴を鮮明に可視化することが可能です。

    レーザー共焦点

    レーザー共焦点光学系では、波長405 nmの半導体レーザー光源と高感度の光検出器（フォトマルチプライヤー）を用いて共焦点画像を取得します。

    白色干渉法

    白色干渉法では、白色光源からの光が対物レンズ内のビームスプリッターによって分割され、サンプル表面と参照面の両方から反射されたときに生成される干渉縞から高さ情報を取得します。

    フォーカスバリエーション

    フォーカスバリエーションでは、画像のコントラスト値を用いて高さ情報を取得します。

  • 白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡OLS5500の構成

    白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡OLS5500の構成

表面形状測定技術の比較

OLS5500に搭載された各種表面形状測定技術は、サンプルの形状や微細な表面性状の観察・測定において、それぞれ独自の強みを発揮します。

  • レーザー共焦点

    レーザー共焦点

    平面及び垂直方向ともに高分解能の測定が可能です。サブミクロンから数百ミクロンまでの微細な表面性状の形状取得に適しており、急峻な斜面形状も検出できます。

  • 白色干渉法

    白色干渉法

    なだらかな平滑面や、ナノオーダーの高さ形状測定に適しています。対物レンズの倍率によらず、どの倍率でも一定の高い垂直方向の測定分解能が得られます。

  • フォーカスバリエーション

    フォーカスバリエーション

    凹凸の大きい立体形状を短時間で測定することが可能です。サンプル全体のマクロ形状取得に適しており、レーザー顕微鏡や白色干渉計と組み合わせることで、マクロからミクロまでの形状取得ができます。

特長

  • 比類なきイメージングソリューション
    比類なきイメージングソリューション
    ・nmからmmまで1台で対応できるシームレスな3-in-1ソリューション
    ・専用設計の光学系による高い光学性能
    ・微細な構造から透明なものまで見えないものを可視化
  • あらゆる表面を細部まで鮮明に
    あらゆる表面を細部まで鮮明に
    ・平面から複雑な凹凸、急な傾斜、微細な質感まで真の表面形状を高精度に可視化
    ・専用設計のレーザー顕微鏡対物レンズと、高NAの白色干渉対物レンズを搭載
    ・さまざまな形状のサンプルを正確にイメージング
  • 揺るぎない測定品質
    揺るぎない測定品質
    ・測定環境下における測定精度保証*1
    ・世界初*2 LSMとWLIダブルでの高さ測定ノイズ保証

    *1 レーザー顕微鏡はISO/IEC17025 認定校正が可能
    *2 2025 年10 月、（株）エビデント調べによる
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