EDX-7000/8000シリーズ用微小部分析キット

• X線照射径 最小0.3mmø
  励起側のX線を0.3mmøに絞ることができ、標準仕様（最小1mmø）では困難な微小異物の高精度な分析や、微小領域の不良解析に威力を発揮します。
• 画質劣化なしで試料画像を拡大
  より微小な試料に対応するため、試料観察画像の視認性を高めました。画質劣化なしで通常画像の約2.5倍の拡大像に切り替えができます。 
• 0.3、1、3、10mmøの4段階を自動切換え
  照射径は0.3、1、3、10mmøの自動切換えです。微小部の分析だけでなく、10mmøでマクロな組成分析にも対応します。

  ※ 照射径は試料面上におけるサイズです。

◆ 菓子に付着させた微小金属粉（約0.1mmø）

市販の菓子に約0.1mmøの微小金属粉を付着させ、照射径1mmø、0.3mmøそれぞれで分析しました。
照射径1mmøでは、金属粉周辺（菓子）からの散乱線の影響で全体的にバックグラウンドが大きく上がりS/Nが悪くなっていますが、照射径0.3mmøでは周辺からの散乱線の影響が少なく、S/Nの良いプロファイルが得られています。
いずれも主成分として銅（Cu）と亜鉛（Zn）が検出されており、この金属粉が黄銅（真鍮）であることは照射径にかかわらず判定可能ですが、照射径0.3mmøではこれ以外に鉛（Pb）のピークが同定されており、この金属粉が単なる黄銅ではなく、鉛を含有した‘快削黄銅’であることが示唆されます。
このように、有機物など散乱線が強く発生する材質の上に存在する微小試料であっても、照射径0.3mmøを使用することによって、より高精度な分析が可能となります。

◆ 微小部分のめっき膜厚測定

検量線法や薄膜FP法でめっき膜厚測定をおこなう際には、試料（測定部位）がX線照射径よりも大きいことが必須条件となります。
照射径1mmøでは測定困難であった微小部分のめっき膜厚測定にも対応可能です。