SolidSpec-3700/3700DUV

深紫外から近赤外域まで高感度測定が可能


 

先進の技術と信頼性が
光学,半導体,FPD分野に
Solutionをもたらす

特長

高感度

3検出器を搭載
紫外・可視領域に対してはPMT(光電子増倍管),近赤外領域に対してはInGaAs検出器と冷却PbS検出器を使用した3検出器搭載型で,近赤外領域での高感度測定を実現しました。

短波長

190 nm 以下の深紫外領域を測定
深紫外光の吸収の少ない素材を使用した光源,検出器,積分球を採用し,また分光器,試料室など全ての光路を窒素パージすることにより最大165~3300 nm(DUV型にオプション使用時)の広波長領域での測定が可能です。

超大形試料室

多様な試料に対応

3次元光学系(特許US 6583872)および超大形試料室の採用により,最大700 mm×560 mmの大形試料をセッティングが容易な水平置きで測定可能です。
また,オートX-Yステージ(オプション)を使用することにより,窒素パージをした状態のままで最大310 mm×310 mm試料の多点自動測定が可能となります。

主なオプションと仕様

各種のオプションを用意しましたので,アプリケーションに応じた測定システムを構築することが可能です。

  • 直接受光ユニットDDU/DDU-DUV(液体測定・固体透過測定)
    積分球を介さずに直接測光する際に使用します。 取り付け後は固体試料は積分球測定,液体試料は直接受光測定の切替が簡単に行えます。
  • オートXYステージ(自動測定・面内分布測定)
  • 大型鏡面反射測定装置
  • 酸素モニタ付窒素ガス流量計
  • 絶対反射率測定装置(5°12°30°45°)
  • 試料台積分球セット
項 目 仕 様
波長範囲 SolidSpec-3700  240~2600nm, 190~3300nm(*)
SolidSpec-3700DUV  175~2600nm, 165~3300nm(*)
バンド幅 紫外可視:0.1~8nm (8段切替), 近赤外:0.2~32nm (10段切替)
波長分解(*) 0.1nm
波長正確さ(*) 紫外可視:±0.2nm, 近赤外:±0.8nm
繰返精度(*) 紫外可視:±0.08nm, 近赤外:±0.32nm
迷光(*) 0.00008%以下(220nm),0.00005%以下(340nm),0.0005%以下(1420nm),0.005%以下(2365nm)
ノイズ 0.0002Abs以下(500nm),0.00005Abs以下(1500nm) (1秒レスポンスのRMS値) (直接受光ユニット使用時:0.00005Abs以下 500nm)
測定レンジ -6~6Abs
測光方式 ダブルビーム測光方式
本体大きさ 幅1000×奥行800×高さ1300mm, 170kg

(* 直接受光ユニット使用時)

オールインワンソフトウェア

UVProbe
SolidSpec-3700/3700DUVの制御ソフトウェアUVProbeは,スペクトル測定,定量,時間変化測定,レポートジェネレータ機能を装備しています。
また多段セキュリティやオーディットトレイル機能で,データの信頼性保証に貢献します。

補足キーワード:RMS値,root mean square,平均平方根

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