SUPERSCAN™ SS-4000 - オプション
走査電子顕微鏡
生体・食品・ソフトマテリアル試料などでのCryo観察の他、チャンバー内のミクロトームスライサーを用いたシリアルブロックフェイス（SBF-SEM）法やアレイ断層撮影法による大面積の3D画像の構築が可能です。またデュアルEDSを用いて凹凸による影と数え落としの影響を低減して高感度な測定が可能です。さらに、統合ラマン分光法などの特殊なソリューションを利用することで、研究の幅を広げることができます。
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Serial Block Face Imaging（SBFI）
チャンバー内にミクロトームスライサーを組み込み、試料の断面出しと観察像の取得を連続的に自動で行うことができます。得られた画像を再構築し3Dにすることで、試料の構造を立体的にとらえることができます。
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Cryo-SEM
試料を極低温に冷却した状態で、SEM観察ができるシステムです。水分を多く含んだ試料でも、真空中で、水分が蒸発しにくいため、そのままの状態で、SEM観察することが可能になります。
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デュアルEDS
EDS検出器2台を搭載し、凸凹による影の影響を軽減します。検出器が1台では奥まった部分からの信号が試料に遮られ検出できない影となる部分が生じますが、取り付け方向の異なる2台の検出器を配置することで影の影響を低減します。また2台の検出器を用いるため倍の信号量が得られ高感度で正確な元素マッピングが可能です。
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SEM統合ラマン分光分析
ラマン分光法と走査型電子顕微鏡の統合は、他に類を見ない優れた機能です。ラマン分光法では相分析が可能で、EDSでは検出が難しいマルカサイトや黄鉄鉱などの異なる相を容易に特定できます。
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主なオプション（特注を含む）
| ロードロック（手動・電動） | 光学ナビゲーションおよび相関カメラ（ONCam） | Essence™ CORAL （光学および蛍光顕微鏡オーバーレイ・位置指定） |
| LE-4Q BSE（電動） | Essence SharkSEM Advanced（Python自動化） | Array Tomography |
| Al-Coated BSE（電動） | Essence Image Snapper Module（パノラマ画像） | 3D Volume Analysis |
| Compact CL（185‒850 nm） | Essence Sample Observer（in-situ 観察） | サイレンサーボックス/コンプレッサー/ 緊急停止ボタン/アクティブサスペンション（LMH） |
| Essence EDS Detector（1x30 mm2） | Essence Flow（オフライン画像処理） | 追加モニター、高性能PC 他 |
| Dual Essence EDS Detector （2x30 mm2） | HADF R-STEM | 静電ビームブランカ |
特殊なソリューション（特注を含む）
| EDS（Oxford、Bruker、EDAX、他） | 加熱ステージ（300-800 ℃）及び水冷式BSE（電動） | Essence SYNOPSYS（半導体欠陥検査） |
| WDS（Oxford、Bruker、EDAX、他） | カソードルミネッセンス（CL）検出器 | ウェハー用拡張ステージおよびホルダー （4、6、8、12 インチ） |
| EBSD（Oxford、Bruker、EDAX、他） | ラマン分光計 | SBFIシステム |
| Cryoシステム | 引っ張り試験システム |