SUPERSCAN™ SS-3000 - 仕様
走査電子顕微鏡
ラインナップ
SUPERSCAN SS-3000のラインナップは次の3つのタイプです。
| LMS | 標準サイズの試料チャンバーに高真空機能（HighVac）と30 Paの低真空機能（SingleVac）を搭載した標準タイプです。 |
|---|---|
| LMU | 標準サイズの試料チャンバーにガス二次電子検出器（GSD）と最大700 Paの可変圧力MultiVac機能を持つ低真空タイプです。 |
| GMU | 大型サイズの試料チャンバーを備え、ガス二次電子検出器（GSD）と最大700 Paの可変圧力MultiVac機能を搭載した低真空タイプです。 EDSやEBSDなど、複数の分析システムを必要とする用途に最適です。 |
主な仕様
| LMS | LMU | GMU | |
|---|---|---|---|
| 電子源 | ショットキー電界放出（FE） | ||
| 分解能 | 高真空モード 1.2 nm（30 keV、SE）、 1.0 nm（30 keV、In-Beam SE）、 3.5 nm（1 keV、In-Beam SE）、 1.8 nm（1 keV、In-Beam LE BSE、BDM）、 低真空モード（固定：30 Pa±10 Pa） 2.0 nm（30 keV、BSE） |
高真空モード 1.2 nm（30 keV、SE）、1.0 nm（30 keV、In-Beam SE） 3.5 nm（1 keV、In-Beam SE）、1.8 nm（1 keV、In-Beam LE BSE、BDM） 低真空モード（可変：1～700 Pa） 2.0 nm（30 keV、BSE）、1.8 nm（30 keV、GSD）、 3.0 nm（3 keV、GSD） |
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| 撮影倍率 | 2倍 ～ 1,000,000倍 | ||
| 加速電圧 | 0.2 keV ～ 30 keV（入射電圧 > 0.05 keV BDMモード） | ||
| 照射電流 | 2 pA ～ 400 nA | ||
| 低真空圧設定範囲 | 30 Pa（SingleVac N2） | 1 ～ 700 Pa（MultiVac N2、H2O） | |
| 対物レンズ | 磁場対物レンズ | ||
| 自動機能 | ビーム軌道計算・制御、オート・ブライトネス/コントラスト、オートフォーカス、オートスティグマ、 | ||
| 検出器 | In-Beam SE 検出器（SE、BDM の場合はBSE） In-Beam LE BSE 検出器（BSE、BDM の場合はSE） In-Chamber SE 検出器（SE） In-Chamber R-BSE 検出器（BSE） |
In-Beam SE 検出器（SE、BDM の場合はBSE） In-Beam LE BSE 検出器（BSE、BDM の場合はSE） In-Chamber SE 検出器（SE） In-Chamber R-BSE 検出器（BSE） ガスニ次電子検出器（GSD） - 低真空観察用 |
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| 拡張ポート | 12*1) | 20*1) | |
| 試料チャンバー | 内径 230 mm | W 340 mm x D 315 mm | |
| 最大試料寸法*2) | 最大径 : 100 mm 径（T 軸不使用） 最大試料高さ : 39 mm 65 mm（R 軸非搭載時） |
最大径 : 180 mm 径（T 軸不使用） 最大試料高さ : 92 mm 133 mm（R 軸非搭載時） |
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| 最大試料重量*2) | 1000 g | 8000 g | |
| 試料ステージ | 電動5軸compucentric方式*3) X：80 mm、Y：60 mm、Z：50 mm R 軸（回転）360°連続 T 軸（傾斜） －80°～ +80° |
電動5軸compucentric方式*3) X：130 mm、Y：130 mm、Z：100 mm R 軸（回転）360°連続 T 軸（傾斜） －70°～ +90° |
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| サスペンション | ニューマチック（空圧） | ||
| その他の標準装備 | ビーム減速（BDM） | ||
| 画像サイズ | 最大 16 k x 16 k pixel | ||
| コンピュータ | Intel Core i3、主メモリ16GB、 500GB SDD、Nvidia GT1030 同等 | ||
| ディスプレイ | 32 型 QHD | ||
| OS | Windows® 11 Pro（64 ビット版） | ||
| 観察ソフトウェア パッケージ |
Essence Measurements、Essence Image Processing、Essence Presets、Positioner、 Essence 3D Collision Model、Essence Histogram Display and Adjustment、 Essence SharkSEM Basic、Essence Object Area、Essence Switch-off Timer |
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| 対応言語 | 日本語 / 英語 | ||
- システム構成によっては、拡張ポート数が制限される場合があります。
- 使用条件により異なります。
- T軸（傾斜）、R軸（回転）を変更しても視野を保つことができるよう座標位置を計算して移動する駆動方式です。Eucentric式とは異なり、試料をT軸の回転軸上に配置する必要がありません。