SUPERSCAN™ SS-3000 - オプション
走査電子顕微鏡
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デュアルEDS
EDS検出器2台を搭載し、凸凹による影の影響を軽減します。検出器が1台では奥まった部分からの信号が試料に遮られ検出できない影となる部分が生じますが、取り付け方向の異なる2台の検出器を配置することで影の影響を低減します。また2台の検出器を用いるため倍の信号量が得られ高感度で正確な元素マッピングが可能です。
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SEM統合ラマン分光分析
ラマン分光法と走査型電子顕微鏡の統合は、他に類を見ない優れた機能です。ラマン分光法では相分析が可能で、EDSでは検出が難しいマルカサイトや黄鉄鉱などの異なる相を容易に特定できます。
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主なオプション（特注を含む）
| ロードロック（手動・電動） | HADF R-STEM | Essence Flow（オフライン画像処理） |
| LE-BSE（電動） | 静電ビームブランカ | デコンタミネーター |
| LE-4Q BSE（電動） | アクティブサスペンション | Essence™ CORAL （光学および蛍光顕微鏡オーバーレイ・位置指定） |
| Al-Coated BSE（電動） | 光学ナビゲーションおよび相関カメラ（ONCam） | サイレンサーボックス/コンプレッサー/ 緊急停止ボタン |
| Compact CL（185‒850 nm） | Essence SharkSEM Advanced（Python自動化） | 追加モニター、高性能PC 他 |
| Essence EDS Detector（1x30 mm2） | Essence Image Snapper Module（パノラマ画像） | コントロールパネル |
| Dual Essence EDS Detector （2x30 mm2） | Essence Sample Observer（In-situ 観察） |
特殊なソリューション（特注を含む）
| EDS（Oxford、Bruker、EDAX、他） | Cryoシステム | 引っ張り試験システム |
| WDS（Oxford、Bruker、EDAX、他） | 加熱ステージ（300-800 ℃）及び水冷式BSE（電動） | Essence SYNOPSYS（半導体欠陥検査） |
| EBSD（Oxford、Bruker、EDAX、他） | ラマン分光計 | ウェハー用拡張ステージおよびホルダー （4、6、8、12 インチ） |