SiウェハATR測定システム​

フーリエ変換赤外分光光度計

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SiウェハATR測定システム

Si-CheckIR Ⅱ（エス・ティ・ジャパン社製）

エス・ティ・ジャパン社製のSi-CheckIR（エスアイ･チェッカー）Ⅱを用いて、再現性の高いシリコンウェハの表面測定を行うシステムです。従来のホルダーでは安定した密着度と圧力が得られないため、定量的な再現性において不完全な結果となっていましたが、Si-CheckIRは新開発のユニークな加圧プレス機構と特別な結晶により、容易に良好な結果が得られ、再現性の高い測定が行えます。
また、大型のステージによりウェハを切断などすることなく測定が行えますので、測定までの準備が必要ありません。
さらに、ウェハだけではなく、表面が平滑でプリズムに面が密着しづらい金属板上の薄膜などもATR測定が可能です。

 

注）IRSpiritシリーズには対応していません。

対象試料

Siウェハ

FTIRカスタム製品の
ご紹介
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