SPM-9700HT用 粒子解析ソフトウェア
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
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粒子解析ソフトウェアは、SPM-9700HTの画像データから複数の粒子を抽出し、個々の粒子に対して特徴量を計算し、それらを解析、表示し、統計的に扱う場合に威力を発揮します。以下に示す豊富な特徴量と各特徴量に対する統計量を算出し、一覧表示、並べ替え、グラフ表示が可能です。数値データは外部転送が可能です。
特徴量
- 重心X
- 重心Y
- 絶対最大径
- パターン幅
- 水平フィレ径
- 垂直フィレ径
- 円相当半径(穴を除く)
- 円相当半径(穴を含む)
- 平均半径
- 平均半径のばらつき
- 重心間の最小距離
- 周囲長
- 包絡周囲長
- Zの最大値
- Zの最小値
- Zの平均値
- 粒子の周りのZの平均値
- 穴を除く面積
- 穴を含む面積
- 表面積
- 体積
- パターン方向
- 2次元慣性モーメントの主軸角度
- 占有率
- 面積率
- 偏平率
- 丸さの度合
- 凹凸の度合
- 針状の度合
統計量
- 平均
- 標準偏差
- 長さ平均
- 面積平均
- 体積平均
- 合計
- 最大値
- 最小値
- 最大値のラベル番号
- 最小値のラベル番号
- 範囲
- 粒子数