EPMA-1720 Series
電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalysis)
最適設計のX線分光器が高感度、高精度分析を可能にします。
分析性能の基本となるX線取り出し角度は52.5度をコンセプトキープ

分析性能の基本となるX線取り出し角度は52.5度をコンセプトキープ

ピット内の異物を分析
ピットの穴の中にある異物を分析したデータです。左下が鉄(Fe)、右下がチタニウム(Ti)の分布です。EPMA-1720は高い取出し角度により、凹凸の激しい試料でも精度の高い分析が行えます。