EPMA-1720 Series

電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalysis)

最適設計のX線分光器が高感度、高精度分析を可能にします。

分析性能の基本となるX線取り出し角度は52.5度をコンセプトキープ

X線取り出し角度と空間分解能の関係,凹凸のある表面形状観察時の利点

分析性能の基本となるX線取り出し角度は52.5度をコンセプトキープ

ピットの中にある異物の分析データ

ピット内の異物を分析

ピットの穴の中にある異物を分析したデータです。左下が鉄(Fe)、右下がチタニウム(Ti)の分布です。EPMA-1720は高い取出し角度により、凹凸の激しい試料でも精度の高い分析が行えます。

SEM観察から分析開始まで、作業効率を格段に高めます。

光学顕微鏡像はSEM像と同じモニタ上に表示。しかも高感度です。

SEM像と同じモニタで観察できます。

SEM像と光学顕微鏡像を1モニタで観察
SEM像と光学顕微鏡像を1モニタで観察

SEM像と光学顕微鏡像が同一モニタ上にあると目線の移動が最小限になります。

高感度CCDカメラで暗いサンプルも観察できます。

高感度CCDカメラで暗いサンプルも観察
高感度CCDカメラで暗いサンプルも観察

ワンクリックでSEM像観察を始めることができます。

オートSEMボタンをクリックするだけで、予め登録した条件でSEM像を観察することができます。

ワンクリックでSEM像観察

かんたん操作でSEM像観察

ビーム電流の変更は簡単、高速、高精度。しかもフォーカスキープ。

ビーム電流は目的の値を指定するだけで高速、高精度で自動設定されます。 また、連動制御により電流を変えても像のフォーカス状態が維持されます。

フォーカスキープしつつビーム電流変更

フォーカスキープしつつビーム電流変更

※外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

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