EPMA-8050G

電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalyzer)

かつてない卓越した空間分解能

分析に用いられるビーム電流条件でナンバーワンの二次電子像分解能を誇ります。(加速電圧10kVにおいて,20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1µA)従来の電子銃(CeB6,タングステン)と比較した結果は一目瞭然です。
同じ分解能の像が従来の電子銃より格段に大きなビーム電流で得られるので,非常に高感度なX線分析を行うことができます。
さらに注目すべきは,ビーム電流1µAのSEM像です。1µA以上のビーム電流が得られ,しかもここまでビームを細く絞ることができるのは,EPMA-8050Gだけです。

各電子銃のビーム特性比較(加速電圧10kV)

各電子銃のビーム特性比較(加速電圧10kV)

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