主なオプション

ロードロック(手動・電動) デコンタミネーター
LE-BSE(電動) Vacuum buffer(真空ポンプ制御アルゴリズム)
Essence EDS Detector(位置固定、1x30 mm2 Essence Image Snapper Module(パノラマ画像)
Essence EDS Detector(1x30 mm2 サイレンサーボックス / コンプレッサー / 緊急停止ボタン
Dual Essence EDS Detector (2x30 mm2 オイルフリーロータリーポンプ / UPS(無停電電源装置)
ニューマチック(空圧)サスペンション コントロールパネル、追加モニター、高性能PC 他