広い視野のSEM画像

  • Wide Field Optics™テクノロジーにより、極低倍率2倍で50 mm以上の視野をリアルタイムにSEM観察。
    従来のSEMは最低倍率が10倍~20倍、視野は5 mm~10 mmに限られ、試料全体の形状や現在位置の把握が困難です。SS-2000はSEM像のままで試料ステージ全体のリアルタイム観察から、高倍率観察まで違和感なくスムーズな操作を可能にします。

     

  • Enhanced Real–time Observation

光軸・画像の自動調整

  • In-Flight Beam Tracing™テクノロジーにより、高速かつ高精度で画像を自動調整。
    最新のシミュレーション技術を搭載し、ビームの軌道を正確に把握・制御します。光軸や観察画像の調整は自動機能により簡単・スムーズに行えます。

  • 画像自動調整
フロー図

3Dモデルを用いた衝突回避

  • 試料や搭載機器を3Dモデル化し、位置関係をリアルタイムで計算・表示。衝突事故を未然に防ぎ、安心・安全なオペレーションを実現します。多様な周辺機器に対応し、用途に応じた柔軟なシステム構築が可能です。

  • 3Dモデルを用いた衝突回避システム

    仮想モデルを用いてサンプルとステージの
    動きを様々な角度から確認することができます。

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