SUPERSCAN™ SS-2000 - 特長

Wide Field Optics™テクノロジーにより、極低倍率2倍で50 mm以上の視野をリアルタイムにSEM観察。
従来のSEMは最低倍率が10倍～20倍、視野は5 mm～10 mmに限られ、試料全体の形状や現在位置の把握が困難です。SS-2000はSEM像のままで試料ステージ全体のリアルタイム観察から、高倍率観察まで違和感なくスムーズな操作を可能にします。

In-Flight Beam Tracing™テクノロジーにより、高速かつ高精度で画像を自動調整。
最新のシミュレーション技術を搭載し、ビームの軌道を正確に把握・制御します。光軸や観察画像の調整は自動機能により簡単・スムーズに行えます。

試料や搭載機器を3Dモデル化し、位置関係をリアルタイムで計算・表示。衝突事故を未然に防ぎ、安心・安全なオペレーションを実現します。多様な周辺機器に対応し、用途に応じた柔軟なシステム構築が可能です。