SPM-9700HT用粒子解析ソフトウェア

走査型プローブ顕微鏡　(Scanning Probe Microscope)

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粒子解析ソフトウェアは、SPM-9700HTの画像データから複数の粒子を抽出し、個々の粒子に対して特徴量を計算し、それらを解析、表示し、統計的に扱う場合に威力を発揮します。以下に示す豊富な特徴量と各特徴量に対する統計量を算出し、一覧表示、並べ替え、グラフ表示が可能です。数値データは外部転送が可能です。

特徴量

重心X
重心Y
絶対最大径
パターン幅
水平フィレ径
垂直フィレ径
円相当半径（穴を除く）
円相当半径（穴を含む）
平均半径
平均半径のばらつき
重心間の最小距離
周囲長
包絡周囲長
Zの最大値
Zの最小値

Zの平均値
粒子の周りのZの平均値
穴を除く面積
穴を含む面積
表面積
体積
パターン方向
2次元慣性モーメントの主軸角度
占有率
面積率
偏平率
丸さの度合
凹凸の度合
針状の度合

統計量

平均
標準偏差
長さ平均
面積平均
体積平均
合計
最大値
最小値
最大値のラベル番号
最小値のラベル番号
範囲
粒子数

解析例

薄膜 (□5μm)

粒子の抽出・分類結果

平均半径をヒストグラム表示

大腸菌 (□30μm)

粒子の抽出・ラベリング結果

絶対最大径と針状の度合を相関グラフ表示

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