DUH-211/DUH-211S

DUH-211/DUH-211Sは、従来のくぼみの対角線長さを測定するのではなく、負荷と押しこみ深さの関係をリアルタイムに計測し表面物性を評価します。押しこみ深さは自動的に測定されますので、個人誤差無く、金属材料を始めとして、薄膜表面処理層、微小電子部品、プラスチック、ゴム、セラミックスなど、あらゆる材料の表面物性評価に威力を発揮します。
また、本装置は押し込み硬度評価のみならず、最近注目されている押し込み試験による表面物性評価への対応を目的として開発しました。これによりISO14577-1（計装化押し込み硬さ試験）におけるマルテンス硬さ、押し込み弾性率、仕事量、クリープ評価（Annex A）^*1 に対応した評価やTangent depth法^*2 による押し込み弾性率、等価押し込みビッカース硬さの評価が行えます。
（高温システム、電動XYZステージシステムにつきましては、別途お問合せください。）

• ISO14577-1
  Metallic materials - Instrumented indentation test for hardness and materials parameters - part1:Test method
  Annex A: Materials parameters determined from the force/indentation depth data set
• Tangent depth法
  材料試験技術 Vo. 62 No. 2　2017年4月号P.68 - 77
  Proposal for ISO 14577-Part 1: Test method (Verification of the calculation method of Young‘s modulus for wide range of materials and test forces with already calibrated machine frame compliance in its testing system
  材料試験技術 Vo. 65 No. 1　2020年1月号P.4 - 17
  Calculation theory of the Equivalent Indenting Vickers hardness HVI(IW) and Implementation for many kinds of material and test force ranging from 10 mN to 1960 mN with Berkovich indenter in the Instrumented Indentation Test

特長

• ISO 14577-1（計装化押し込み硬さ）におけるマルテンス硬さおよび材料パラメータ（Annex A）に対応した評価が可能
• Tangent depth法による押し込み弾性率、等価押し込みビッカース硬さの評価が可能
• 圧子先端形状、装置剛性の補正を行い、精度の良い弾性率評価が可能
• 0.1 mNという低試験力から1960 mNという広い試験力範囲に対応
• 0.1 nmの高分解能で深さ計測が可能
• 負荷試験だけでなく、負荷除荷試験、繰り返し試験など目的により7種類の試験方法が可能
• ビッカース試験に対応（ビッカース測定キットはオプション）

対象試料

蒸着膜、半導体材料などの薄膜、表面処理層、プラスチック、ゴム、金属、微細繊維、ガラス、セラミックスなどの脆性材料、微小電子部品

試験例

試料：フューズドシリカ
試験力：0.5 mN

※外観および仕様は、改良のため予告なく変更することがあります。