PTV ガラスインサートとO-リングの交換
OCIインサート（OCI-2030用）、簡易OCI用ガラスインサートも同様の方法で交換します。
事前準備¶
はじめに装置をメンテナンス可能な状態（メンテナンスモード）へ移行して下さい。
- ワークステーションを操作してメンテナンスモードに移行する
- 装置本体の画面を操作してメンテナンスモードに移行する （GC本体がGC-2030の場合）
- 装置本体のメンテナンス用ボタンを操作してメンテナンスモードに移行する （GC本体がGC-2050の場合）
使用部品¶
No. |
部品名称 |
カテゴリ |
必要個数 |
備考 |
|---|---|---|---|---|
① |
INJ用スパナ |
1 |
||
② |
ピンセット |
1 |
||
③ |
O-リング P3 |
1 |
耐熱温度の高いオプション品もあります。 |
|
④ |
インサート |
1 |
各種オプション品があります。 |
作業手順¶
手順1¶
INJ/DETカバー（★1）を開けます。
手順2¶
INJ用スパナ（①）で、ガラスインサート固定ナット（★2）を取り外します。
手順3¶
ガラスインサート（④）を引き抜きます。
手順4¶
新しいガラスインサート（④）にO-リング（③）を取り付けます。
ヒント
シリカウールが充てんされていないガラスインサートを使用するときは、
シリカウール充てん位置ガイド
を参考にシリカウールを充てんしてください。
OCIインサートにおいてはシリカウールの充填は不要です。
手順5¶
ガラスインサート（④）を注入口に取り付けます。
ピンセットで底に当たるまで押し下げます。
手順6¶
ガラスインサート固定ナット（★2）を取り付け、INJ用スパナ（①）で固定します。
手順7¶
INJ/DETカバーを閉めます。
手順8¶
該当する装置に従った下記手順に従い、メンテナンスモードから復帰し、消耗品カウンタをリセットします。