PTV ガラスインサートとO-リングの交換
OCIインサート(OCI-2030用)、簡易OCI用ガラスインサートも同様の方法で交換します。
事前準備¶
はじめに装置をメンテナンス可能な状態(メンテナンスモード)へ移行して下さい。
- ワークステーションを操作してメンテナンスモードに移行する
- 装置本体の画面を操作してメンテナンスモードに移行する (GC本体がGC-2030の場合)
- 装置本体のメンテナンス用ボタンを操作してメンテナンスモードに移行する (GC本体がGC-2050の場合)
使用部品¶
No. |
部品名称 |
カテゴリ |
必要個数 |
備考 |
---|---|---|---|---|
① |
INJ用スパナ |
1 |
||
② |
ピンセット |
1 |
||
③ |
O-リング P3 |
1 |
耐熱温度の高いオプション品もあります。 |
|
④ |
インサート |
1 |
各種オプション品があります。 |
作業手順¶
手順1¶
GC-2030¶
INJ/DETカバー(★1)を開けます。
GC-2050¶
GC-2050の場合、メンテナンス作業はINJ/DETカバーを開けずに行ってください。INJ/DETカバーを開ける際は電源をOFFにしてください。
手順2¶
INJ用スパナ(①)で、ガラスインサート固定ナット(★2)を取り外します。
手順3¶
ガラスインサート(④)を引き抜きます。
手順4¶
新しいガラスインサート(④)にO-リング(③)を取り付けます。
ヒント
シリカウールが充てんされていないガラスインサートを使用するときは、
シリカウール充てん位置ガイド
を参考にシリカウールを充てんしてください。
OCIインサートにおいてはシリカウールの充填は不要です。
手順5¶
ガラスインサート(④)を注入口に取り付けます。
ピンセットで底に当たるまで押し下げます。
手順6¶
ガラスインサート固定ナット(★2)を取り付け、INJ用スパナ(①)で固定します。
注記
ナットを締め過ぎるとOリングが中に入り込んでインサートが取れなくなるため、ナットを締め過ぎないようにしてください。
手順7¶
INJ/DETカバーを閉めます。
手順8¶
該当する装置に従った下記手順に従い、メンテナンスモードから復帰し、消耗品カウンタをリセットします。