硫酸のTOC評価

ユーザーベネフィット

－ 硫酸中の有機汚染管理を行うことができます。 － オートサンプラーASI-Lを用いることにより、多検体を自動測定することができます。

はじめに

硫酸は肥料原料、金属精錬や製紙などに利用され、用途が多岐にわたる重要な化学品です。この硫酸に不純物が含まれると、製造プロセスや最終製品に影響を与えることから、硫酸の品質評価が求められています。例えば、半導体などの工業製造では、硫酸が洗浄剤として使用されており、ウエハー表面に洗浄剤からの有機不純物が残っていると、ウエハーの品質低下、もしくはウエハーによる半導体製品の品質低下を招くだけでなく、製造プロセスに影響を与える可能性があります。 硫酸の有機物の品質評価には、有機不純物としてTOCを測定することが有効です。TOC計で硫酸を測定する場合に、高濃度の硫酸イオンは測定値に影響することがありますが、島津TOC計を使用すれば、1%硫酸の測定が可能です。 今回は、島津全有機体炭素計TOC-Lによる1%硫酸中のTOCを測定した例をご紹介します。

2023.06.27