SPM-Nanoa
SPMのスムーズな位置決めを実現 装置一体型の高性能光学顕微鏡が叶える
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ユーザーベネフィット
- SPMに一体化された高性能光学顕微鏡により、精密なターゲットの探索が行えます。 - 正確にターゲットを捉えられるため、視野探索における手戻りが無く効率的な作業が出来ます。 - パターンが描かれたSi基板の観察を、試料前処理を必要とせず簡便に行えます。
はじめに
走査型プローブ顕微鏡［SPM（AFM）］は、大気中で簡便にナノレベルの高分解能3D観察が可能な顕微鏡です。その適用範囲は、半導体基板や金属などのハードマテリアルから生体試料などのソフトマテリアルまで多岐にわたります。電子機器やバイオデバイスなどの小型化が進む昨今、それらを構成するパーツにも更なるミクロ化が求められています。例えば、半導体業界では、集積回路が誕生した頃は10 µmあった回路の線幅も、今や14 nmが実現されています。このようなパーツのミクロ化により、顕微鏡による観察場所の選択も従来と比較して精密さを要求されるようになりました。SPMは分解能が高く拡大倍率の高い観察を行うため特に厳密な観察場所の指定が必要となります。SPMでは通常光学顕微鏡を用いて観察場所を選択しますが、これまでは、光学顕微鏡の解像度不足から精密な位置決めが行えませんでした。SPM-Nanoaでは、高性能光学顕微鏡が一体化されており、µmオーダーの精密なターゲットの探索が簡単に行えます。
2021.03.26
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一部の製品は新しいモデルにアップデートされている場合があります。
