SPM-Nanoa
8K高画素観察が叶える！広域観察と高精細な解析の両立 - 2
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ユーザーベネフィット
－ 一度の8K高画素観察によって、広域の3D形状から任意箇所での詳細な構造まで確認することができます。 － 複数箇所を確認したい場合にデータを取り直す必要がありません。 － パターンが形成された基板の観察と解析を、前処理を必要とせず簡便に行えます。
はじめに
走査型プローブ顕微鏡［SPM（AFM）］は、大気中で簡便にナノレベルの高分解能3D観察が可能な顕微鏡です。その適用範囲は、半導体基板や金属などのハードマテリアルから生体試料などのソフトマテリアルまで多岐にわたります。 電子機器やバイオデバイスなどの小型化が進む昨今、それらを構成するパーツにも更なるミクロ化が求められています。例えば、半導体業界では、集積回路が誕生した頃は10 µmあった回路の線幅も、今や14 nmが実現されています。 しかし、従来のSPMでは画素数が2K（2048×2048）程度であったために複数の場所を詳細に観察したい場合、それぞれの場所で測定を行う必要がありました。一方、8Kの高画素観察を実現したSPM-Nanoaでは、広域の画像から鮮明な狭域の画像を切り出すことができるため、一回の測定で複数箇所の詳細な構造を知ることができます。ここでは、Siパターン基板に対して8K（8192×8192）高画素観察を行った例をご紹介します。
2021.03.26
