OLS5100
3D 測定レーザー顕微鏡「まとめて解析｣による形状解析作業の効率化
ダウンロード
はじめに
工業分野では、部品や素材の粗さなどの形状測定は必ず行われており、この作業の効率化が望まれています。 レーザー顕微鏡（LSM）はミリメートルからサブミクロンまでの形状測定を非接触かつ大気中で簡単に行える装置です。そのため、前準備を必要とする電子顕微鏡（SEM）による形状観察から LSM による観察と形状測定に切り替えられるケースが増加しています。LSM 装置の中でも、3D 測定レーザー顕微鏡 OLS シリーズは、三次元形状（3D）画像の取得時間が短く、高さと長さの測定値の正確さを保証しているため、形状測定に最適な装置です。 測定値の信頼性を上げるために測定回数（N 数）を多くしますが、試料の種類と N 数によっては多くの測定と解析を行うことになります。アプリケーションニュース S35「3D測定レーザー顕微鏡による形状の精密測定と検査の自動化」では OLS シリーズによる自動化機能を紹介しました。今回、OLS シリーズの「まとめて解析」機能による複数画像の一括処理とレポート作成を紹介します。「まとめて解析」を利用することで解析作業の効率化が行えます。
2019.07.29
関連製品
一部の製品は新しいモデルにアップデートされている場合があります。
