Hyper Vision HPV-X2

高速度ビデオカメラ

撮像例:半導体分野

半導体

・ プラズマ発生装置のプラズマ挙動
・ 半導体デバイスの破壊過程観察

半導体デバイスの絶縁破壊瞬間の観察など故障モード解析にも利用されます。

半導体デバイスの絶縁破壊

半導体集積回路の基本であるMOS(金属-絶縁膜-シリコン)デバイスの故障発生の様子です。絶縁破壊により金属の薄膜電極が閃光を発しながら絶縁膜から剥離していく様子を捉えています。

(東北大学・須川研究室ご提供)

撮影速度:100万コマ/秒
視野幅:約0.8 mm

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