SPM-9700HT Plus - 仕様

走査型プローブ顕微鏡

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SPMユニット

分解能 XY 0.2 nm
Z 0.01 nm
最大走査範囲
（X・Y・Z）		 10μm×10μm×1μm　（標準）
30μm×30μm×5μm　（オプション）
125μm×125μm×7μm　（オプション）
55μm×55μm×13μm　（オプション）
2.5μm×2.5μm×0.3μm　（オプション）
試料最大形状 Φ24mm×8mm
除振機構 SPMユニットに内蔵
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