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    SPM-9700HT Plus - 仕様

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    走査型プローブ顕微鏡

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    SPMユニット

    分解能 XY 0.2 nm
    Z 0.01 nm
    最大走査範囲
    （X・Y・Z）    		 10μm×10μm×1μm　（標準）
    30μm×30μm×5μm　（オプション）
    125μm×125μm×7μm　（オプション）
    55μm×55μm×13μm　（オプション）
    2.5μm×2.5μm×0.3μm　（オプション）
    試料最大形状 Φ24mm×8mm
    除振機構 SPMユニットに内蔵