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    SPMユニット

    分解能 XY 0.2 nm
    Z 0.01 nm
    最大走査範囲
    (X・Y・Z)
    10μm×10μm×1μm (標準)
    30μm×30μm×5μm (オプション)
    125μm×125μm×7μm (オプション)
    55μm×55μm×13μm (オプション)
    2.5μm×2.5μm×0.3μm (オプション)
    試料最大形状 Φ24mm×8mm
    除振機構 SPMユニットに内蔵