ナノ3Dマッピング Fast(オプション)

  • 従来機(SPM-9700)より、物性マッピングの時間を大幅に短縮。マッピング時間が短くなったことにより、安定した物性評価が実施できます。
  • ナノ3DマッピングFast

観察条件の最適化 NanoAssist

  • 設定するのは観察範囲のみ。そのほかの観察条件設定を自動で行います。オペレーターに依存しない観察を実現します。

    Analytical Intelligence
  • ナノAssist

 

 

観察時間を短縮する ハイスループットスキャナ

  • 新しく開発したHTスキャナにより、従来機(SPM-9700)より5倍以上の早さで表面形状の観察が可能になりました。
    スキャナは簡単に交換できるため、従来のスキャナを使用できます。
    HTスキャナ

    HTスキャナ


 ※動画中の製品名および外観が実際の製品と異なりますが、操作手順などはSPM-9700HT Plusと同様です。

 

ヘッドスライドメカニズム ~高安定性 & ハイスループット~

光てこ系とカンチレバーが一体となったヘッドで、スライドさせるだけで試料の交換が可能です。レーザー光の照射を中断せず交換できるので、交換後もレーザー照射は高い安定性を維持しています。光軸調整などレーザー照射の中断に伴う作業がないため、分析時間も短縮できます。

  • 高安定性

    ・試料交換中もレーザは安定してカンチレバーに照射されます。
    ・振動や音、風の外乱に強く、専用の風防は不要です。
    ・本体に除振機能が内蔵されています。

    ハイスループット

    ・カンチレバーホルダーを外すことなく試料を交換できます。
    ・SPM観察中も、試料に対してアクセスできます。
    ・試料の厚みにかかわらずアプローチは完全自動です。


※動画中の製品名および外観が実際の製品と異なりますが、操作手順などはSPM-9700HT Plusと同様です。 

 

SPM-9700HT Plus 高安定性の秘密

高性能が維持できる優れた機構 -レーザ照射の違いによる安定度の比較-

SPM-9700HT Plus 高安定性の秘密
未対応装置(一例) 高安定性の秘密

カンチレバーマスター(カンチレバー取り付け治具、オプション)

カンチレバーを滑り台に沿って動かすだけで、取り付けを確実に行えます。 

 

  • ①カンチレバー取り付け治具にカンチレバーホルダーをセットします。
    ②カンチレバーを滑り台に載せます。
    ③カンチレバーを滑らせるようにカンチレバーホルダーに挿入し、固定します。
    カンチレバーマスター


※動画中の製品名および外観が実際の製品と異なりますが、操作手順などはSPM-9700HT Plusと同様です。 

 

マウス操作で多彩な3D表現

マウス操作で回転、ズーム、Z軸倍率変更が自由自在にでき、画像の見たい角度や倍率を感覚的に調節できます。高さ情報に他の物性情報を重ね合わせて表示するテクスチャ機能や、3D断面形状解析機能といった高度な解析により、画像の確認作業の効率が飛躍的に向上します。   

ズーム

回転

Z軸倍率変更

テクスチャ機能

高さ情報に他の物性情報を重ね合わせて表示することができます。両者の関係が明確に表現できます。

3D断面形状解析

3D表示上で断面形状解析ができます。物性情報をテクスチャとして表現している場合には、同じ場所でそれぞれの断面プロファイルが表示・解析できます。

あらゆる要求に応える機能と拡張性

豊富な測定モードで、試料の形状像だけでなく、電流や電位、硬さや粘弾性といった試料表面の物性情報を反映した画像を取得できるようになります。

標準機能

コンタクト
コンタクト
カンチレバーを接触させて試料表面形状を観察するモード

ダイナミック
ダイナミック
カンチレバーを振動させて試料表面形状を観察するモード

位相
位相
ダイナミックモードの拡張で試料表面物性を観察するモード

水平力(LFM)
水平力(LFM)
カンチレバーに働く水平力(摩擦力)を検出するモード

標準機能

オプション機能

フォースモジュレーション
フォースモジュレーション
コンタクトモードの拡張で試料表面物性を観察するモード

フォースマッピング
フォースカーブ(フォースマッピングはオプション
カンチレバーに働く力をグラフ化する機能

電流
電流
試料-カンチレバー間に流れる電流分布を観察するモード

表面電位(KFM)
表面電位(KPFM)
試料表面の電位分布を観察するモード

オプション機能

磁気力(MFM)
磁気力(MFM)
試料表面の漏洩磁気を観察するモード

ベクタースキャン
ベクタースキャン(特注)
試料面でカンチレバーを任意に移動させる機能

溶液中観察
溶液中観察
シャーレ型溶液セルを用いて溶液中で試料表面を観察

電流
電気化学反応時の観察
電気化学用溶液セルを用いて反応下の試料表面を観察

 

ナノ3Dマッピング
ナノ3Dマッピング
試料の弾性率や吸着力の分布を観察

試料加熱ユニット
試料加熱ユニット
スキャナーに搭載し、試料を載せて加熱可能

光照射ユニット
光照射ユニット
試料表面に光ファイバーで光を照射可能(光源と光ファイバーは含まず)

 

コンタクトモードAFM

コンタクトモードAFM

カンチレバーと試料との間に働く斥力が一定になるようにフィードバックをかけながら試料表面を走査するモードです。AFMでは最も標準的なモードで、最高 の分解能が得られます。

マイカの原子像(デスク型空気ばね式除振台使用)

マイカの原子像

ダイナミックモードAFM

ダイナミックモードAFM

カンチレバーを共振周波数付近で振動させます。この状態でカンチレバー先端が試料に接近すると振幅が変化します。この現象を利用して振幅が一定になるよ うに動作させ、試料の高さ方向の変位を取得するモードです。

サファイアの原子ステップ

サファイアの原子ステップ

プラスミドDNA

プラスミドDNA

位相

位相

ダイナミックモードで走査中に、カンチレバーの位相の遅れを検出します。試料表面の特性の違いを画像化することができます。

ポリマーシート 表面形状像(左)/位相像(右)

ポリマーシート 表面形状像

ポリマーシート 位相像

水平力(LFM)

水平力(LFM)

カンチレバーの長手方向に対して垂直に走査しながら、水平力(摩擦力)によるカンチレバーのねじれ量を検出し、画像化します。

白金コート 表面形状像(左)/LFM像(右)

白金コート 表面形状像

白金コート LFM像

フォースモジュレーション

フォースモジュレーション

コンタクトモードで走査中に探針を繰り返し試料に押し込み、その応答を振幅および位相に分離して検出します。試料表面の物性の違いを画像化することがで きます。

ステンレス 表面形状像(左)/振幅像(右)

ステンレス 表面形状像

ステンレス 振幅像

フォースカーブ(標準)
ナノ3Dマッピング(オプション)

フォースカーブ

探針と試料との距離を変えながら探針に働く力を測定し、グラフ表示します。
オプションのナノ3Dマッピングでは、観察した画像データの各点でフォースカーブを測定し、試料の弾性率や吸着力の分布を観察することができます。

電流

電流

コンタクトモードで走査中に探針と試料の間にバイアス電圧を印加し、その時に流れる電流を検出して、その分布を画像化します。

カーボン抵抗体 表面形状像(左)/電流像(右)

カーボン抵抗体 表面形状像

カーボン抵抗体 電流像

表面電位(KPFM)

表面電位(KFM)

導電性のカンチレバーに交流電圧を印加し、試料表面とカンチレバーとの間に働く電気力を検出する事により、試料表面の電位を測定します。

分散剤 表面形状像(左)/電位像(右)

分散剤 表面形状像

分散剤 電位像

磁気力(MFM)

磁気力(MFM)

磁化された探針を試料から一定の距離だけ離れた位置で走査します。
この時、漏洩磁場による磁気力を検出することで、試料表面の磁気情報を画像化します。

フロッピーディスク 表面形状像(左)/MFM像(右)

フロッピーディスク 表面形状像

フロッピーディスク MFM像

ベクタースキャン(特注)

フォースカーブ

試料の走査方向や探針-試料間に働く力、印加電圧をプログラミングし、その通りに実行することができます。

シリコン基板上の金蒸着面 表面形状像(左)/KPFM像(右)

シャーレ型溶液セル

シャーレ型溶液セル

溶液中観察 (シャーレ型溶液セル)

磁気力(MFM)

小型シャーレの底に試料を装着し、溶液で満たします。カンチ レバーを溶液に浸けて走査することにより、溶液中でAFM観察が行えます。

シャーレ型溶液セル

親水性ポリマー 大気中(左)/溶液中(右)

シャーレ型溶液セル

シャーレ型溶液セル

電気化学反応時の観察 (電気化学用溶液セル)

磁気力(MFM)

電解溶液中で、電気化学反応による試料表面の変化をAFM観察する時に使用します。標準3電極(作用電極、対極、参照電極)。

シャーレ型溶液セル

銅板 表面形状像(左)
/サイクリックボルタンメトリ3回繰り返し(右)

シャーレ型溶液セル

シャーレ型溶液セル

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