DUH™-211/210シリーズ - アプリケーション

ダイナミック超微小硬度計

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適応材料・用途

蒸着膜、半導体材料などの薄膜
イオン注入層・窒化層等の表面処理層

  • CVD、PVDによる蒸着膜、DLC皮膜、イオン注入層、アルマイト処理層など表面薄膜の硬度評価は、製膜技術の向上、多様化とともにその重要性がより高まっています。超微小試験力によって膜厚の約1/10以下の深さまでで測定することにより下地(母材)の影響無しで膜のみの評価を簡単に行うことができます。

  • 蒸着膜、半導体材料などの薄膜 イオン注入層・窒化層等の表面処理層

DLC膜

  • 高硬度・低摩擦係数・耐摩耗性・電気絶縁性・耐薬品性・赤外線透過性の特長を持ち、工具、自動車部品、半導体機械部品、家庭用品など広範囲に使用されています。
    最適製膜条件検討や品質管理のため「硬さ」測定が必要であり、薄膜の場合、大きなくぼみを付けることが出来ないため、試験力が小さく圧子の押し込み深さにて「硬さ」を評価するDUHが最適です。

  • DLC膜

プラスチック

  • エンジニアリングプラスチックなどの機能の中で“硬さ”も重要な要素の一つです。従来、測定が困難であった吸光度の大きい材料の硬さ測定も可能です。
    プラスチックの可塑性に優れ加工し易いという特長を活かしながら、強度や耐熱性を向上させたエンジニアリングプラスチックが家電製品内部の機械部品(歯車や軸受けなど)に使用されています。これらは磨耗が少なく軽量で、かつ金属部品よりも安価で大量生産可能です。この性能向上、品質管理に「硬さ」が使用されていますが、プラスチックは反射率が低いため従来の硬度計を使用したくぼみの大きさ測定の適用が難しいため、試験力と圧子の押し込み深さにて「硬さ」を評価するDUHが最適です。

  • プラスチック
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  • プラスチック
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  • プラスチック

ゴム・エラストマ

  • 押し込み深さから硬さを求めるので、種々の試験力で測定できるとともに、材料の極表面の劣化評価も可能です。
    ゴムは弾性率が低く小さい力でよく伸び、反発が大きい特性をもち、原材料に化学成分を練りこんでタイヤ、防振ゴム、Oリングなど各種製品が作られています。使用される環境は厳しく耐久性とともに表面劣化の評価に硬さが使用されています。従来の硬度計では試験後のくぼみのため、ゴムの特長である弾性を評価することができません。この弾性の含んだ評価には試験力と圧子の押し込み深さを測定するDUHが最適な評価法となります。

  • ゴム・エラストマ

金属材料

  • 組織の微細化とともに困難さを増してきた微小領域の硬度測定にも十分対応できます。

    金属材料
  • 金属材料

ガラス、セラミックスなどの脆性材料

  • 脆性材料の硬度評価も低試験力なので亀裂の生成なしに行えます。また、亀裂の生成試験力を得ることもできます。
    ガラスは透明で硬く熱変形に強い絶縁体であるという特長から窓ガラスからディスプレイやCDの基板材料まで各種基板材料として使用されています。一方脆いという側面もあり、ディスプレイの大型化薄型化に対応するため、材料や処理法に各種工夫を行っています。ガラスの評価方法として「硬さ」がありますが、大きな試験力ではクラックが入ることとくぼみがクリアには見えないため、試験力が小さく圧子の押し込み深さにて「硬さ」を評価するDUHが最適です。

  • ガラス、セラミックスなどの脆性材料

光ファイバ、炭素繊維などの微細繊維

  • 各種ファイバの複合材料に用いられる繊維状試料の強度評価も重要な情報を取り出すことができます。もちろんファイバ自身の硬度測定も可能です。

  • 光ファイバ、炭素繊維などの微細繊維
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  • 光ファイバ、炭素繊維などの微細繊維

微細粉末

  • 粉体は体積に対する表面積の比を大きくするため微細化が進んでいます。粉体の強度評価には圧縮試験が使用されていますが、さらに詳細に硬さを測定するには、その大きさからDUHが最適となります。

  • 微細粉末