製造環境・環境規制

クリーンルーム内のガス分析は、デバイスの品質と歩留まりを確保するために極めて重要な役割を果たします。そのため、クリーンルーム内の環境を常時監視する必要があります。 また、近年、環境規制の強化に伴い、PFAS分析も重要になってきています。
クリーンルーム内の環境測定、排水中のPFAS分析の事例をご紹介します。