ESCA(XPS)
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XPS X線光電子分光分析装置
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組成
- ・ディレイラインディテクター（DLD）システム
- ・パラレルイメージングと微小部スペクトル
- ・全自動試料ハンドリング機構
- ・試料ナビゲーションシステム
- ・優れた中和機構による高エネルギー分解能
原理
- 電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は固体物質を分析する装置の一つです。EPMAは、加速され集束された電子ビームを試料に照射することによって、ビームの電子と試料に含まれる全ての元素の原子との間に様々な相互作用を引き起こします。
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