SPL/PTV/SPI スプリットフィルタの交換
事前準備¶
はじめに装置をメンテナンス可能な状態（メンテナンスモード）へ移行して下さい。
- ワークステーションを操作してメンテナンスモードに移行する
- 装置本体の画面を操作してメンテナンスモードに移行する （GC本体がGC-2030の場合）
- 装置本体のメンテナンス用ボタンを操作してメンテナンスモードに移行する （GC本体がGC-2050の場合）
使用部品¶
No. |
部品名称 |
カテゴリ |
必要個数 |
備考 |
|---|---|---|---|---|
① |
スプリットフィルタ |
1 |
作業手順¶
手順1¶
AFC/APCカバー（★1）を開けます。
GC-2030¶
GC-2050¶
手順2¶
フィルタナット（★2）を反時計回りに回して、 古いスプリットフィルタ（①）を取り外します。
手順3¶
新しいスプリットフィルタにO-リングが2か所ついていることを確認します。
手順4¶
新しいスプリットフィルタ（①）にフィルタナット（★2）を取り付けます。
手順5¶
スプリットフィルタを保持台に乗せ、スプリットフィルタのセンター軸をフィルタ固定ブロックの穴に通して奥に挿し込みます。
手順6¶
フィルタナット（★2）を時計回りに回して、スプリットフィルタを固定します。
手順7¶
AFC/APC カバーを閉めます。
手順8¶
該当する装置に従った下記手順に従い、メンテナンスモードから復帰します。