セプタムとインサートの交換(OCI-2030 NX / OCI-NX U)
事前準備¶
はじめに装置をメンテナンス可能な状態(メンテナンスモード)へ移行して下さい。
- ワークステーションを操作してメンテナンスモードに移行する
- 装置本体の画面を操作してメンテナンスモードに移行する (GC本体がGC-2030の場合)
- 装置本体のメンテナンス用ボタンを操作してメンテナンスモードに移行する (GC本体がGC-2050の場合)
使用部品¶
No. |
部品名称 |
カテゴリ |
必要個数 |
備考 |
---|---|---|---|---|
① |
ピンセット |
1 |
||
② |
OCIインサート(OCI-2030 NX / OCI-NX U用) |
1 |
必ずOCI-2030 NX / OCI-NX U専用インサートをお使いください。 |
|
③ |
マイナスドライバー |
1 |
||
④ |
セプタム |
1 |
OCIでは高耐熱性のセプタム(HTタイプ)をお勧めします。 |
作業手順¶
手順1¶
GC-2030¶
INJ/DETカバー(★1)を開けます。
GC-2050¶
GC-2050の場合、メンテナンス作業はINJ/DETカバーを開けずに行ってください。INJ/DETカバーを開ける際は電源をOFFにしてください。
手順2¶
セプタムナットASSY(★2)を反時計回りに回して取り外し、セプタム(④)を取り外します。
手順3¶
マイナスドライバー(③)を反時計回りに回し、ピンセット(①)を使用して、OCI-2030 NX / OCI-NX U用インサート(②)を取り外します。
手順4¶
ピンセット(①)を使用して、新しいOCI-2030 NX / OCI-NX U用インサート(②)を挿入し、マイナスドライバー(③)を時計回りに回して取り付けます。
注記
インサートが底にあたったらマイナスドライバ―を回すのを止めてください。締めすぎると焼き付きの原因となります。
手順5¶
セプタム(④)を取り付け、セプタムナットASSY(★2)を時計回りに回して一杯まで締め込み、半周戻します。
手順6¶
INJ/DETカバーを閉めます。
手順7¶
該当する装置に従った下記手順に従い、メンテナンスモードから復帰し、消耗品カウンタをリセットします。