- 1µg/L以下のTOC濃度を示す超純水を、安定して測定することができます。
- 超小型の本体に大きなカラータッチパネルを搭載しており、簡単に操作を行うことができます。
- ランプと試料流路を一体化した「Active-Path™」の構造により、高い酸化力を実現します。
Product of the month
Product of the monthでは、新製品やトレンドの製品をお届けいたします。毎月1つの製品にフォーカスし、製品の特徴、関連アプリケーションなどをご紹介します。ぜひ島津の新製品・技術を体験してみて下さい。
アプリケーション
超純水用オンラインTOC計「TOC-1000e S」
尿素など難分解性有機物を検出し、半導体製造に必須な超純水をモニタリング
半導体製造に不可欠な超純水のモニタリング用オンラインTOC計「TOC-1000e S」は、独自の測定アルゴリズムによって半導体製造工程に必要とされるTOC濃度1µg/L以下の安定した測定を実現しました。特に最先端半導体の製造プロセスで必要とされる尿素などの難分解性有機物に対する高い検出能力と応答性により、製造工程における歩留まりの改善に大きく貢献します。
「TOC-1000e S」は、エキシマランプからのエネルギーの高い短波長光を「Active-Path」構造で試料に照射することで、尿素などの難分解性有機物を高感度に検出できます。また、前シリーズでも好評だった「小型・軽量」と「使いやすさ」は維持し、高感度と運用負担の軽減を両立しています。
- 難分解性有機物を高感度に検出
- 高い応答性で不純物を検知
- 世界最小・最軽量クラスのボディと使いやすさを継承
