金属

XPSX線光電子分光分析装置組織

  • ・ディレイラインディテクター(DLD)システム
  • ・パラレルイメージングと微小部スペクトル
  • ・全自動試料ハンドリング機構
  • ・試料ナビゲーションシステム
  • ・優れた中和機構による高エネルギー分解能

xps

原理

ESCA(化学分析のための電子分光法)としても知られているX線光電子分光法(XPS)は、解析できる材料の種類として制限なく元素状態情報と化学状態情報の表面分析技術である。

System Functions

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