湿式TOC-Vによる硫酸中のTOC評価

ユーザーベネフィット

－ 10%硫酸中の低濃度TOCを定量することができ、硫酸の有機汚染管理を行うことができます。 － オートサンプラーを用いることにより、多検体を自動測定することができます。

はじめに

硫酸は、半導体業界でウェハー表面などの精密洗浄に使用されている化学品の一つです。洗浄に使う薬液が有機汚染されていると、洗浄する対象物だけでなくその製造プロセスにも汚染の影響を与える可能性があります。そのため、洗浄に用いる硫酸の品質管理が求められています。 硫酸中有機不純物は全有機体炭素（TOC）で評価することができます。集積回路の高度化に伴う微量有機物の管理のためには、TOC測定を高感度で行うことができる湿式酸化式TOC計が有効です。 今回、島津湿式酸化式全有機体炭素計TOC-Vを用い、10%硫酸中のTOCを測定した例をご紹介します。

2024.01.16