オートXYステージを使用したSolidSpec-3700の測定例 -サンプルの面内分布を測る-

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はじめに

SolidSpec-3700/3700DUV(Fig.1)は深紫外高感度測定,世界初の3検出器搭載,超大形試料室標準装備など多彩な機能を備えています。超大形試料室にオートXYステージ(オプション)を設置することによりサンプルの面内分布などマニュアル測定では時間のかかる測定を効率的に行うことができます。今回は,オートXYステージを使用した測定例(膜の面内透過率分布)を中心に説明いたします。

2005.04.09

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