IRTracer-100
赤外顕微鏡による厚みのあるサンプルの反射測定
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はじめに
自動不良解析システム AIM-9000 を使用した測定では、通常、厚さ約 10 mm のサンプルまでステージ上に設置することができますが、下部カセグレン（コンデンサ鏡）を取り外すことによって、最大で厚さ 40 mm のサンプルを設置し、反射および ATR 測定が可能となります。 ここでは、10 mm 以上の厚みのあるサンプルを用いた反射測定の事例をご紹介します。
2017.07.26
