IRTracer-100
光学部品上の微小異物の測定‒赤外顕微鏡AIM-9000による測定・同定‒
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はじめに
電気・電子機器の小型化，高機能化にともない，装置を構成する部品は微細化し，超小型で高性能な半導体部品やセンサーなどの光学素子部品が数多く採用されています。微細化した機器や部品ではミクロンオーダーの微小な異物が動作不良の原因となることがあり，その再発防止のために異物混入の原因究明が求められます。 弊社「自動不良解析システム（赤外顕微鏡）AIM-9000」は微小部測定に特化した光学設計を採用していますので，異物がミクロンオーダーの極微小サイズでも短時間で良好なスペクトルを取得することが可能です。本システムを用いて，光学部品表面に付着した 10 µm 程度の微小な異物の測定事例をご紹介します。
2016.08.01
