付属品選択ガイド(固体試料編)

相対鏡面反射測定

相対鏡面反射測定
相対鏡面反射測定

相対鏡面反射測定は基準となる試料の反射光と測定対象となる試料からの反射光の強度比から,反射率を求める測定です。 図のように基準試料の反射率を100%とみなして,基準試料に対する試料の反射率を求めます。


鏡面反射測定装置(入射角 5°)

この装置は,鏡面反射光の相対反射率を測定する装置です。 半導体,光学材料,多層膜の評価に鏡面反射測定が多用されます。 入射角 5°では偏光特性がほとんど問題にならないので偏光子を必要とせず測定が容易です。
■UVminiシリーズ,UV-1800/1850/1900/2450/2550/2600/2700/3600シリーズ,SolidSpec用
■試料の最大寸法:
 たて160×よこ100×厚さ15mm(UVminiシリーズ,UV-1800/1850/1900に使用の場合),
 たて160×よこ140×厚さ10mm(UV-2450/2550/2600/2700/3600シリーズに使用の場合),
 たて160×よこ140×厚さ150mm(SolidSpec-3700に使用の場合)
■試料の最小寸法:
φ7mm(φ5mm光束使用の場合)
*) UVminiシリーズでご使用の場合は,試料室ユニットが必要です。 SolidSpec-3700でご使用の場合は,直接受光ユニットが必要です。


大形鏡面反射測定装置(入射角 5°)

SolidSpec-3700/3700DUVで相対鏡面反射測定を行う場合に必要となります。SolidSpec-3700/3700DUV本体に取り付け,試料を水平にして反射測定が行えます。
■試料の大きさ:最大 横470×奥行き560mm,厚さ40mm

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